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双纵模双频激光干涉仪信号处理系统的研究 测试计量技术及仪器专业 研究生康岩辉 指导教师张涛 双频激光干涉仪是现代几何量精密测量中最常见，也是工业中最具权威的 长度测量仪器。本课题在现有的以双纵模热稳频He．Ne激光器为光源构成的双 频激光干涉仪基础之上，对系统进行了改进。论文的主要研究工作如下： 首先，对现有双纵模双频激光干涉仪非线性产生的原因进行详细的理论分 析，其结果与实际观察到的现象相吻合；并确定了非线性对测量速度和测量精 度的影响大小，最后给出定量结论。 然后，针对现有电路系统的信号易有直流漂移、调整光路观察信号不方便 的不足之处提出解决方案，即：高稳定度的高频振荡器(输出频率为v)输出的 信号经0。功分器后分成两路，它们分别与测量信号和参考信号进行混频(测量 信号和参考信号频率分别为Av±Af和△v)，得到测量镜运动调制的测量信号 lv—Avf±Ⅳ和参考信号形成的信号fv一△1，l，式中Ⅳ为Doppler频移。根据峰值 运算电路，可以得到测量信号的强弱，从而判断出光路调整的好坏。然后分别 将混频后的测量和参考两路信号进行自增益控制放大和整形，最终德到计数器 可直接计数的方波脉冲信号。此方案的优点在于：改进后系统具有交流系统的 特点，原来导致信号产生直流漂移等问题的各种因素(包括非线性的影响)，都 可以通过交流自动增益放大等手段加以处理，并使整个系统容易满足正常工作 的条件。 再次，对改进后的电路系统进行了详细的介绍，其中包括峰值运算电路、 基于AD603的自动增益控制(AGC)电路和基于复杂可编程逻辑器件(CPLD) 的计数电路等。 最后，在完成了电路板的制作、安装和软、硬件调试后，对改进系统中的 峰值运算电路、自动增益控制电路，以及整个系统抗干扰性能、测量速度进行 了测试实验。 结果表明，改进后的双纵模双频激光干涉仪系统能够达到设计要求，在测 量速度为1000n”rn／s时可以正常工作。 关键词：双纵模双频激光干涉仪非线性 自动增益控制 lI onthe ofa systemdual-frequency Study signalprocessing two modes laserinterferometerwith longitudinal TechnologyInstruments Major：Measuring Yanhui Tao Supervisor：Zhang Postgraduate：Kang A laserinterferometerisoneofthemostcommoninstrumentsin dual—frequency modern itisalsothemostauthoritativeone measurement，and geometricalprecision for and onthe laser existingdual—frequency measuringdisplacementlength．Based withtwo lasersourceisthestabilized— interferometer modes，whose longi【tud