离子束辅助沉积氮化钛陶瓷薄膜机械性能及生物相容性研究.pdfVIP

中文摘要 摘 要 BeamAssisted 本文利用离子束辅助沉积(Ion Deposition)技术在医用不锈钢 317L样品表面、Si片(100)样品表面沉积制各TiN陶瓷薄膜，研究了薄膜的机械 性能和摩擦学性能，包括薄膜表面的纳米硬度、耐磨、摩擦系数以及薄膜与基底 的附羞力：通过x射线光电子能谱(xPs)、x射线衍射(Ⅺm)和俄歇电子能谱 (AEs)分析研究了薄膜的结构特征；运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank’S 模拟体液中的耐腐蚀性能；最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了 生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态；并尝试研究了 薄膜的结构特征、机械性能、耐腐性能、生物相容性与制备工艺参数之间的规律。 膜，其处于压应力状态，压应力的存在除成膜时离子束轰击的原因外，溅射原子 携带较大的能量也是造成压应力的主要原因之一。高能和低能离子束的应用与否 对薄膜的晶体结构有较大的影响：只用20KeV高能氮离子束辅助沉积的TiN薄膜 呈(200)择优取向：而只用250eV低能氮离子束辅助沉积的TiN薄膜和用高低能