钛过镀层沉积自支撑金刚石膜界面特征.pdfVIP

594 2008年中国机械[程学会年会暨甘肃省学术年会文集 钛过镀层沉积自支撑金刚石膜的界面特征 陈良贤 李成明 陈飞 刘政 黑立富 宋建华 陈广超唐伟忠 吕反修 北京科技大学材料科学与工程学院北京 100083 摘要：利用直流等离子体喷射法在具有钛过渡层的钼复合衬底上制备了自支撑金刚石膜，目的是解决自支撑金刚石膜脱落时 的裂纹问题。本文研究具有钛过渡层的钼衬底沉积无裂纹自支撑金刚石膜的界面特征。用扫描电子显微镜(sEM)观察界面的 石膜和钛过渡层之问存在碳化物，形成强结合。金刚石膜脱落时，过渡层在界面形成无序破坏而释放应力，有利于制备无裂 纹的自支撑金刚石膜。 关键词：界面 自支撑金刚孑i膜钛过渡层 等离予体喷射法 O 引言 金刚石具有最高的硬度，高的热导率，低的摩擦系数，低的热膨胀系数，宽的禁带宽度以及常温下极 佳的化学稳定性等优越的性能，被认为是最理想的红外光学窗口材料ll七】。制备金刚石膜的技术很多，其中 ArcPlasma 直流电弧等离子体喷射(DC Jet)CVD以其较高的沉积速度而被认为是最有应用潜力的工艺之一 【3J。但是，在该方法中，金刚石膜在沉积结束脱膜的时候经常发生开裂，这不仅破坏了膜的完整性，也会 导致残余膜体的强度的降低【4J。造成裂纹的主要原闪是由于金刚石膜与衬底的热膨胀性能差异较大，在冷 却的过程中，使膜体中的残余应力值15】超过断裂强度而造成的。那么引入合适的过渡层【6叫1是一个比较可行 的解决办法。因此，本文尝试在普遍使用的钊衬底上镀上一层钛过渡层作为复合衬底来制备金刚石膜，希 望用比金刚石软的钛过渡层来释放破坏力很强的热应力，起到诱导破坏本身来保护金刚石膜的作用。选用 钛的原因是，钛能起较好的形核作用悼J且能稳定地与钼结合。 l 试验方法 mm×50 复合衬底(中65 mm)钼衬底上的钛过渡层是采用MIP．8．800离子镀膜机制备。金刚石自支撑膜 是在自制的100KWDCPlaLsmaJet沉积设备中制备的，该设备带有循环配气系统，以减少反应气体的耗量。 X射 线衍射谱(xRD)对膜以及衬底进行了界面形貌、成分和界面元素化合价状态分析。 2结果与讨论 2．1金刚石膜和衬底界面的形貌 在具有过渡复合衬底上沉积金刚石膜，脱膜后观察发现，①60的复合衬底，钛过渡层都是边缘部分随 金刚石膜脱落下来，中间部分仍然与钼结合在一起。图1为沉积后过渡层界面的SEM照片。分析界面的 表面形貌，发现钛过渡层的界面上有很多黑点，放大后发现是孔洞，造成这些孔洞的原因是：通过多弧离 子镀镀的过渡层表面有很多大颗粒，未经处理就沉积金刚石膜，这些大颗粒就会进入金刚石膜中，这些大 颗粒在脱膜过程中被破坏，这是因为钛的热膨胀系数大于金刚石的热膨胀系数，在降温过程中，其收缩程 国家自然科学基金项目 glM#*#柑村¨{自挫术日讨台 595 度太丁金日0右膜的收缩程度．造成了与金刚石膜的剥离，这些剥离会起到释放热应^的作用。对获得无裂 纹的箍膜有益。经过半社化处理去掉夫颗粒的钛过渡层苻c积金刚打膜后的界面形貌，拉现没有r扎洞，膜 有部分随膜脱落，有部分没有随膜脱落，由丁钼和钛的热膨睢系数都高于金刚石的热膨胀系数，所以在降 湍过秤巾，会产，t很大的热应力，由于钼是块体材料不容易破坏，过渡层和金削盯膜的体积小容易被破土{=， 由F过自￡层的较薄，健其很容易被热应力破坏，如图2所示金削右膜脱落后的钳衬底J：的界而形貌，很多 铁过渡层被破坏了，这就减小了盒刚石膜被破坏的可能，也就有利于获得尤裂纹的整膊。 目I☆HⅡn№脱镕后钛过援屡界面m貌 目2 M娟复台莉底金Ⅲ5胰脱落口的衬底舁自 2．2界面的xPs分析 {Ⅱ用xPs町以榆测界面元素的化学价态，罔3为钛过渡层沉积金刚石膜后样品界面的Ⅺ，s全谱陶 发现钛过渡层样品土要有碳、钛和氧元素。可见钵过渡层有部分随膜脱落。 分析钍过渡层沉积金刚Ⅱ膜后界面中各元素的化学价