精密超精密加工和研磨技术的现状及发展文献综述.docVIP

精密超精密加工和研磨技术的现状及发展 1 前言 目前，先进机械产品的制造正朝着高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速发展，对许机械产品部件表面的局部平面度及全局平面度均提出了前所未有的高要求。超精密平面研磨加工作为一种超精密加工方法，能很好地适应这些高尺寸精度和低表面粗糙度产品的加工需求。无论是机械研磨、化学研磨以及全局平面化学机械抛光技术等，都需要使用高精度高刚度超精密研磨机实现高效率加工。我国高档次超精密研磨设备设计制造技术水平总体不高，精密的研磨机均还严重依赖于进口，而且价钱非常昂贵。因此，加强我国的高档次机械材料极限研磨机设计制造技术及其产业化研究，以及相关使用工艺技术研究与开发尤为迫切。研磨机用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的设备。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面等。 2 精密与超精密加工技术的发展 通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。精密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面状况；二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 （1）砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。 精密切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等，比一般切削加工精度要高~2个等级。 珩磨用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μm，最好可到Ra0.025μm，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。 精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。超精密加工就是在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。当前的超精密加工亦称之为亚微米级加工技术，正在向纳米级加工技术发展。? 研磨加工不仅向更高的加工精度发展，而且其加工质量也在不断提高，且几乎可以加工任何固态材料。许多人从事研磨加工技术，研究的宗旨是进一步提高研磨加工效率、加工精度，降低加工成本目前，国内外研磨加工主要还是采用散粒磨料在慢速研磨机上研磨。 其特点是加工精度高、 加工设备简单、投资少，但是加工精度不稳定、 加工成本高、 效率低。μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，又称亚微米加工[7]，以及机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，目前已进入纳米级精度阶段。超精密平面研磨可分为四个基本组成部分一研磨盘、研磨液、磨粒和工件[8]。研磨盘是精密研磨加工中的模具，其面型精度对被加工件的面型精度影响非常大，模具表面形貌能在一定程度上“复制到工件表面上[9-10]。超精密研磨是超精密加工中一种重要加工方法，其优点是加工精度高，加工材料范围广。与传统研磨相比，加工效率高、加工成本低、加工精度和加工质量稳定，这使得超精密研磨应用得到了广泛的应用。随着研磨技术在市场上需求的加大和在精密及超精密加工中的广泛应用，研磨技术已在各大加工领域得到发展，各研磨技术的类型和应用如下： （1）磁力研磨：磁力研磨是在传统研磨的不足与缺陷上进行改革创新采用磁场力量传导至不锈钢磨针使工件作高频率旋转运动精密五金工件内孔、死角、细小夹缝抛光研磨最终达到精密工件快速去除毛刺，污垢的效果。采用先进的螺旋流动，三次元振动的加工原理，可实现大批量生产，省人、省力、省能源。适用于中小尺寸工件的表面抛光、倒角、去除毛边、磨光、光泽打光处理，处理后不破坏零件的原有形状和尺寸精度，可消除零件内部应力，并提高了零件表面光洁度、精度研磨盘平面度是研磨的基准，是得到精密工件平面的保证研磨的主要类型有圆盘式研磨、转轴式研磨。平面研磨广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。钻头研磨可以分为便携式钻头研磨， 即傻瓜式钻头研磨，木工钻头研磨，薄壁钻头研磨，群钻头研磨