精密微成型双缸电铸装备的研制.pdfVIP

2012年 1月 机床与液压 Jan．2012 第40卷 第2期 MACHINE TOOL HYDRAULICS Vo1．40No．2 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2012．02．004 精密微成型双缸电铸装备的研制 易甫清，郭钟宁，王冠，刘国跃 (广东工业大学机电工程学院，广东广州510006) 摘要：随着MEMS(微机电制造系统)技术的发展和各种异型、复杂精密微细零件制造的需要，作为精密加工制造技 术的精密电铸技术越来越受到人们的关注。由于电铸技术存在表面质量缺陷多、加工效率低的缺点，使得电铸技术的发展 受到严重阻碍。设计了机电一体的电铸成型装备 ，采用双缸结构 ，能够成倍地提高电铸加工效率；两工作阴极分别采用旋 转和双轴联动的多路径移动方式对铸液进行搅拌 ；采用PLC和A／D转换模块，可实时在线控制温度和检测 pH值，能更好 地改善电铸成型质量。 关键词：电铸；微成型装备 ；加工效率 中图分类号 ：TQ153 文献标识码：B 文章编号：1001—3881(2012)2—009—3． DevelopmentofPrecisionM icromoldingElectroformingEquipmentwithTwoCylinders YIFuqing，GUO Zhongning，WANG Guan，LIU Guoyue (FacultyofElectromechaniealEngineering，GuangdongUniversityofTechnology， GuangzhouGuangdong510006，China) Abstract：WiththedevelopmentofMEMSandavarietyofshapedandcomplexrequirementsofprecisionmicro—partsmanufac— turing，precisioneleetroformingtechnologyisattractedmoreandmoreattention． However，becauseofthedeficitsofelecrtoforming technoloyg ，suchaspoorsurfacequality，low processingefficiency，thedevelopmentofelectroformingtechnoloyg isseriouslyimpeded． A distinctiveelectroformingequipmentwiththestructureoftwocylinderswasdesignedandtheefficiencyofelectroformingwasmultiply improved．Thetwocathodesrespectivelyadoptedrotateandtwo—axislinkagemulti-pathmovementwaytostirthesolution．Thereahime temperatureconrtolandpH valuedetectionwererealizedbyPLCandA／D conversionmodule．Th erefore，thequalityofelectroforming isimproved． Keywords：Eleetroforming；Microformingequipment；Efficiency 电铸是一种基于电化学沉积的精密加工制造技 工件材料以离子的形式沉积，理论上可达到离子级加 术 ，它有着其他加工技术无法比拟的复制精度和尺寸 工精度。加工过程中金属盐溶液里的金属离子在电极 精度 (可达0．Ol m)-2]。由于电铸液可以循环使 电场的作用下，不断迁移到阴极表面上 ，与阴极表面 用 ，电铸装备简单，可进行大面积生产，使得电铸技 的电子结合还原成金属原子，并在覆盖隔离层