磁控溅射TiN的色泽研究.pdfVIP

第十二届全国固体薄膜学术会谈 南宁2010 磁控溅射TiN的色泽研究 李鹏黄美东佟莉娜张琳琳王丽格 天津师范大学，物理与电子信息学院，天津300387 摘要：用反应直流溅射方法，存抛光后的W18Cr4V高速钢基体的表面卜制备TiN膜层。利用SEM 对薄膜表面形貌进行r观测，通过色度计研究了氮气流量、偏压对TiN薄膜色泽的影响。结果表明， 偏压和氮气流量对TiN色泽都有影响，而后者的影响更为明显。 关键词：TiN；磁控溅射；色泽 onColoroftheTiNFilms Study byMagneticSputtering Li Peng，HuangMeidong，TongLina，ZhangLinlin，WangLige Information Normal 300387 of andElectronic Physics Science，TianjinUniversity，Tianjin College Abstract：TiNfilmswere onthe surfaceofW18Cr4V DC depositedwell-polished using magnetron was toobservethe ofthefilms．Theeffectsof flowandof sputtering．SEMemployed topography nitrogen onthe ofthefilmswerestudieda colorimeter．Theresultsshowthatbothfactors bias chromaticity by influencecolorofTiN the flowhas influence． films，andnitrogen stronger words：TiN；Magnetronsputtering；Color Key 1．引言 TiN等硬质薄膜的{“现，不仅成倍地提高了刀具的切削寿命，而且允许切削速度大幅度增加，同 时获得很好的加工精度和效率，在机械加工一lf,lk获得了广泛的应用，所以白上个世纪80年代以来， 制各TiN等镀层已发展成为世界范围的一项高新技术Il。J。这类镀层不仅在T具、模具的超硬镀膜方 面有着越来越广泛的应用，而且在装饰镀方面也占据着重要的地位。目前很多宾馆大厦外表不足金碧 辉煌，就是色彩绚呵。室内装饰或满堂金色，或富丽堂煌，其实这些都是此类镀层的杰作。TiN等镀 层不仅膜层具有较好的耐磨性和耐蚀性，而且还叮在多种材料(包括金属与非金属)上镀制，其色泽变 化多样，十分丰富。一般认为TiN为金黄色，因此也是理想的仿会装饰膜。采用磁拄溅射方法镀覆 TiN膜，具有速度快、基体温升小的优点，但也存在着工艺控制难度大的缺点，影响膜层质量的凶素 很多，在镀制的过程中往往由于工艺参数调制不当，出现颜色不正，结合不牢，沉积速度不适当等缺 点。特别是人批量生产时，不仅不同炉次的样品会出现色差，即使同一炉中也会出现明显的色差【6’¨。 本文旨在研究工艺参数对TiN膜层色泽的影响，从而对优化膜层色泽提供实验依据。 2．实验 2．1样品制备 号砂纸逐次打磨，然后在抛光机，卜抛光，直至基体试样表面呈现镜面，将抛光后的基体试样固定在真 空沉积室的试样架上。利用国产SA．6T型多弧离子镀膜机，该设备为市式结构，既町单独进行6弧离 子镀膜也可以单独进行2靶汽流磁控溅射镀膜。镀l；if将样品浸入酒精溶液中超声激励■十分钟，再用 丙酮溶液浸浴，最后用吹风机烘干。涂层处理工艺为抽真空垒3×10弓Pa，在基体上施加一1000V高偏 压，对表面进行离子轰击3min，使其进一步净化。然后开启直流溅射靶电源，fid时充入氮气，进行 反应溅射镀膜，最后降温出炉pj。