Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究.pdfVIP

第34卷 增刊1 稀有金属材料与工程 Vol 34，Suppl．1 2005年 6月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERINGJune2005 Ga203薄膜材料氧敏性能的研究 侯峰，王科伟，徐廷献，徐明霞 (天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室，天津300072) 摘要：实验以三氯化镓为原料，柠檬酸为络台剂，通过NH3．H20调节pH值，得到透明稳定的前躯体溶胶，红外光 谱分析表明上述溶胶在向凝胶转变过程中，发生镓与柠檬酸的络合，并在干燥过程中依靠氢键形成大分子聚合物。采 用提拉涂覆溶胶．凝胶法在多晶氧化铝基片表面形成凝胶膜后，经800(2下热处理，凝胶膜转化为单斜相肛氧化镓陶瓷 范围内，在理论空燃比附近．电阻突变幅度大于2个数量级，具有较高的灵敏度。 关键词：溶胶．凝胶法；Ga203薄膜；氧敏性能 174．6 文献标识码：A 中图法分类号：TQ 文章编号；1002—185州2005)S1．0875．03 机的数模转换电路，并在相应的气氛中测定材料的氧 1 引 言 敏特性，模拟电阻测试的等效电路图如图1所示。薄 近年来，由于人类对环境污染，尤其是对大气污 染的重视。使得世界各国相继制定了日益严格的汽车 衍射仪测定；凝胶结构分析利用美国BIO．PAD公司 尾气排放法规，同时科研工作者对尾气排放控制用氧 敏传感材料也进行不断深入的研究[1』。Ga203具有很 好的高温化学稳定性、热稳定性，是一种极具潜力的 形貌进行表征。 氧敏材料【3’4l。制备Ga203薄膜大多采用PVD及其衍 生方法(还有部分是采用光刻法或CVD法)，本实验 采用无机盐溶胶．凝胶法(ISG)，合成氧化镓n型半导 体薄膜，并研究了其氧敏特性。 2实验 皿 Rn 实验采用无水GaCI，为原料，由于其具有很强的 最：待测薄膜样品电阻 Ro：标准取样电阻 吸湿性，在常温、空气中成为一种胶状物，无法准确 称量，因此采用迅速取出GaCl3晶体溶于蒸馏水中， 图1 气敏性能测试等效电路示意图 1 Electrocircuitfor 以AgN03为标准溶液，分别用溴酚兰、K2Cr04为指Fig diagraml￡stinggas—sensingproperties 示剂，滴定氯离子的方法，计算配制GaCl3溶液的浓 度。按照GaCI，：柠檬酸=1：1的比例加入络合剂，并用 3结果与讨论 氨水调节pH值，形成0．45m01／L稳定透明无色溶胶。 实验采用浸渍提拉法在A1203陶瓷基片上涂覆薄膜， 3．1 pH值对凝胶结构的影响 然后在800℃热处理30min，重复提拉和预处理8次采用ISG法制各氧化物陶瓷薄膜，需在溶液中加 ～10次，最后在800℃烧结1h。 入络合剂，使金属离子与有机基团形成络合物分子。 将覆有薄膜的基片用自制的卡具夹紧，使电极引 其中pH值对于溶胶、凝胶结构，前躯体分解温度和 线紧压薄膜，放入石英管式炉中，电极引线外接PC 氧化物化学组成有重要影响。本实验通过红外分析手 收稿日期：2004-12-28 基金项目：国家基金委重大项目(599955206)及国家自然科学基金资助 作者简介：侯峰，男，1972年生，博士，副