PLD多层SPR生物传感器的制备与实验研究.pdfVIP

PLD多层SPR生物传感器的制备与实验研究 摘 要 随着薄膜制作技术和精细加工技术的快速发展，光学薄膜技术也日益成熟起 来，它不仅广泛应用于光通信、光信息处理、光学测量等领域，而且在传感器方 面也逐渐显示出它的独特优越性和实用性，其在生化、医学、生命科学、环境检 测等领域的应用已经使它成为当今传感器领域研究的一个热点。本文利用PLD 技术制备光波导生物传感器所必须的光学薄膜，并在此基础上对传统的SPR生 物传感器进行了改进和实验研究，其具体工作如下: 1.采用先进PLD(脉冲激光沉积技术)在棱镜底部通过缓冲层制备出光学特性 优良的ZnO薄膜，改变了传统的光学制膜方法，大大提高了光学薄膜的均匀 性，并通过XRD (X射线衍射仪)和SEM (扫描电镜)检测了其结晶情况， 用实验数据及结果分析了其沉积温度和结晶质最之间的相互关系。 2.利用m线与数值计算相结合的方法测量了光学薄膜的厚度和折射率，为设计 多层SPR生物传感器提供了实验参数和理论依据。 3.理论分析多层SPR生物传感器的物理机理，并通过实验测量了对于不同检测 物的ATR谱线，通过与一般的SPR生物传感器的结果和数据比较发现:多 层SPR生物传感器具有更高的分辨力和解析力，从而为设计高分辨率、高解 析力的新型传感器提供了新的理论依据和实验参考。 关健词:PLD(脉冲激光沉积技术)，SPR(表面等离子共振)，ATR(衰减全反射) PID多层SPR生物传感器的制各与实验研究 第1章 绪论 世界光纤通信技术已经取得巨大的阶段性进展。为使光纤通信技术进一步向 前发展，人们开始把注意力集中于集成光路。集成光路的概念，起源于20世纪 60年代未、70年代初。当时由于薄膜技术和箱细加工技术水平较低，因此各种 薄膜波导型光学器件只存在理论上的分析，无法实现其优异的特性。但在其后的 几十年的时间里，作为光源的半导体激光器、作为光传输媒体的光纤取得了令人 耳目一新的发展，光通信系统所必需的外围硬件也被一一实现。在光学技术发展 过程中，集成光路虽然若隐若现，但却在稳步地向前发展。从事集成光路研究的 科研人员和技术人员，在支撑现代高新技术的集成电路迅猛发展的启迪与促进 下，也在为这种新型光学器件早日实现实用化的理想进行着不懈的努力。由于这 些因素，使得实用性极强和发展前途极广的集成光路迎来了成熟阶段. 随着光通信、光信息处理和光学薄膜制备技术的不断发展和成熟，光传感技 术作为一种新型的传感技术也得到了迅猛的发展，它是一种以光波为载体，光波 导为媒质，感知和传输外界被测信号的新型传感技术。而作为被测量信号载体的 光波和作为光波传播媒质的波导材料则具有一系列独特的、其他载体和媒质难以 相比的优点。光波不产生电磁干扰，也不怕电磁千扰，易被各种光探测器接收和 检测到，可方便地进行光电或电光转换，易与高度发展的现代电子装置和计算机 相匹配。其中光学薄膜传感技术越来越引起国内外研究人员的重视，并且在生化、 生命科学、食品检测、环保等领域获得了广泛的应用。1968年，德国物理学者 Ott。提出了表面等离子波传感理论，当入射光的波长与表面等离子体波的固有共 振波长相同时，就会产生表面等离子共振 (SurfacePlasmaResonance)效应，并 设计出第一个SPR传感系统II].SPR是一种物理光学现象。表面等离子体 ((SP) 是沿着金属和电介质间的界面传播的电磁波形成的，形成SPR的必要条件之一 是金属与电介质界面的存在。当平行表面的偏振光以称之为表面等离子角的入射 角照在界面上发生全反射时，入射光被祸合入表面等离子体内，在这个角度由于 表面等离子体谐振将引起界面反射率显著减少。SPR对附着在金属表面的电介质 的折射率非常敏感，而折射率是所有材料的固有特征。因此，任何附着在金属表 面上的电介质均可被检测，不同电介质其表面等离子角不同;而同一种材料，附 着在金属表面的量不同，则SPR的响应强度不同.根据上述原理，SPR生物传 感器通常将己知的生物分子(如单键DNA分子)固定在几十纳米厚的金属 (金、 银等)膜表面，加入与其互补的目标生物分子(如目标DNA)，两者结合 杂〔交) 将使金属膜与溶液界面的折射率上升，从而导致谐振角改变，如果固定入射角度， 就能根据谐振角的改变程度对互补的目标生物分子进行定量检测。本文所探讨的