极紫外啁啾多层膜反射镜的拟合分析.pdfVIP

第 12卷 第 1期 上 海 电 机 学 院 学 报 Vol_12No．1 2009年3月 JOURNALOFSHANGHAIDIANJIUNIVERSITY Mar．2009 文章编号 1671—2730(2009)01—0065—04 极紫外啁啾多层膜反射镜的拟合分析 陈 锐 ， 袁艳红， 赵 华 (上海电机学院 应用数理研究所，上海 200240) 摘 要：设计并制备了极紫外啁啾多层膜反射镜，利用 同步辐射反射率测试装置完成了样 品反射 率的测试，采用单纯形算法拟合了反射率测试 曲线，分析了顶层 Si的氧化对拟合结果的影响。拟合结 果表明，2块样品的Si—on-Mo粗糙度为0．4nm和 0．5nm，Mo-on_Si粗糙度为0．8nm和0．9nm，顶层 Si的氧化是影响极紫外啁啾多层膜反射镜反射率的重要因素。 关键词：薄膜光学；啁啾多层膜反射镜；单纯形算法；亚飞秒脉冲 中图分类号：0484．41 文献标识码 ：A TheFittingandAnalysisofChirpedMultilayer MirrorsintheExtreme UltravioletRegion CHEN Rui， YUAN Yanhong， ZHAOHua (InstituteofAppliedMathematicsandPhysics，ShanghaiDianjiUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Thechirpedmuhilayermirrorintheextremeultravioletregionisdesignedandfabrica— tedinthispaper．Thereflectivityismeasuredusingthesynchrotronradiation．Themeasuredreflec— tivitycurvesarefittedusing thesimplex algorithm．Theoxidation oftheSilayeratthevacuum boundaryisanalyzed．ResultsindicatethattheroughnessofSi—on-M o is0．4nm and0．5nm ，the roughnessofMo-on-SiiS0．8nm and0．9nm ，andtheoxidationoftheSilayeratthevacuum bounda— ryshouldbeakeyfactoraffectingthereflectivityofthedesignedchirpedmultilayermirror． Keywords：thinfilm optics；chirpedmultilayermirror；simplexalgorithm ；sub-femtosecondpulses 超短超强激光与稀有气体相互作用能够产生高 范围内提供较高反射率并补偿啁啾，它是从高次谐 次谐波，它们很容易进入到极紫外线波段，理论[1]和 波中获得亚飞秒脉冲的有效元件。 实验[2]均表明：该波段部分级次高次谐波的叠加能 目前，国内外对极紫外啁啾多层膜反射镜[5]的 够产生亚飞秒脉冲。但是，在高次谐波产生过程中 研究尚处于起步阶段，该反射镜的拟合分析结果能 会引人一定大小的啁啾，这会破坏谐波叠加的条件， 够为其设计和制备工作提供更多的有用信息。 从而展宽脉冲脉宽，限制获得超短脉冲。极紫外啁 本文设计并制备了极紫外啁啾多层膜反射镜， 啾多层膜反射镜能够在极紫外线波段上的某一波长 利用同步辐射反射率测试装置完成了所制备样品反 收稿 日期：2009—01—06 作者简介：陈 锐(1982一)，男，助教，专业方向为光学工程 ，E-mail：chenr@sdju．edu．cn 上 海 电 机 学 院 学 报