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MEMS
B0634091
1063409017
2009 1
A Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University for the
Degree of Master
MICROFABRICATION OF SOLENOID-TYPE
MICROINDUCTOR WITH MAGNETIC CORE
BY MEMS
Author Qinghua Zhou
Specialty: Microelectronics and Solid-State Electronics
Advisor : Prof. Yong Zhou
Research Institute of Micro/Nano Science and Technology
Shanghai Jiao Tong University
Shanghai, P.R.China
January, 2009
MEMS
(SOC, System On a Chip)
DC/DC
MEMS
(1)
Agilent E4991A / (VSM)
FeCuNbSiB
(2)
Matlab
(3)
FeCuNbSiB NiFe MEMS
(4)
HP 4194A E4991A / 1-10MHz
500 FeCuNbSiB
NiFe
MEMSFeCuNbSiB
NiFe
I
FABRICATION OF SOLENOID-TYPE
MICROINDUCTOR WITH MAGNETIC CORE BY
MEMS
ABSTRACT
With continuously development of information technology, the electronic product is
developing towards to high
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