基于数字全息显微术的光纤连接器端面形貌检测技术.pdfVIP

第33卷第 l期 浙江师范大学学报 (自然科学版) Vo1．33．No．1 2010年 3月 Jouma|ofZhejiangNormalUniversity(Nat+Sci．) Mar。20l0 文章编号：1001-5051(2010)01-0050-06 基于数字全息显微术 的光纤连接器 端面形貌检测技术 沈亚强 ， 万 旭 ， 彭保进 ， 金洪震 (1．浙江师范大学 职业技术学院，浙江金华 321004；2．浙江师范大学 数理与信息工程学院，浙江 金 华 321004) 摘 要：根据光纤连接器端面检测的要求 ，设计了运用数字全息显微术测量光纤连接器端面检测的光学系统 和相应的再现方法．实验表明：该方法获得的结果清晰，可对光纤连接器端面的几何参数(如端面半径、球面 顶点偏芯度和纤芯高度等)进行检测，同时可以重构端面的三维形貌． 关键词：光纤连接器；端面检测；图像处理；数字全息显微术；三维形貌 中图分类号：0438．1 文献标识码 ：A Thetechnologyforinspectingtheendfaceoffiberconnector basedondigitalmicro-holography SHENYaqiang， WANXu ， PENGBaojin， JINHongzhen (1．Collegeof[bcatioH0zandTechnical，ZhefiangNormalUniversity，JinhuaZhejiang 321004，China；2．CollegeofMathematics。Physicsand InformationEngineering。Zhejiangm)r0zUniversity，JiahuaZhefiang 321004，China) Abstract：Inordertomeettherequirementofinspectingthefiberconnectorendface，anew detectionsystem basedondigitalholographicmicroscopywasdesignedandthemethodtoreconstructthethree-·dimensionalim。 ageoftheendfacewasproposed．Theexperimentalresultsshowedthatthetechnologycouldinspectthecon’ centricityoffiberconnectorendface，theelliptieityoffibercoreandthecladdingandotherparameters． Meanwhilethethree—dimensionalshapeofthefiberconnectorendfacecouldbereconstructed． Keywords：fiberconnector；inspectingtheendface；digitatmicro—holography；imageprocessing；three—di— mensionalshape O 引 言 光纤连接器端面面型的几何参数，如纤 芷：中心坐标、球面顶点偏移、表面凹凸不平、纤芯的高度、端 收文 日期：2009-05-l8；修订 日期：2009—1l一23 基金项 目：浙江省科技厅科研项 目(2007C31015) 作者简介 ：沈亚强 (1959一)，男，浙江武义人，教授．研究方向：光 电技术 第 1期 沈亚强，等：基于数字全息显微术的光纤连接器端面形貌检测技术 5l 面倾斜角等，是影响光纤连接器性能的主要因素 ．传统的测量光纤连接器端面的方法是显微成像法， 但这种方法测量精度不高 ¨．干涉法测量 比显微成像法测量的精度要高．在干涉法检测 中，牛顿环干涉 法检测是通常被采用的方法．牛顿环干涉法检测系统结构简单，使用方便，但它是一种接触性测量，容易 造成结构元件的损伤，以及被测件表面的损伤和污染．由于成