全自动引线键合机送丝系统受力模型及实验.pdfVIP

第 8卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．8 No．1 2010年 1月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jan． 2010 全 自动引线键合机送丝系统受力模型及实验 刘 日涛 ，刘延杰 ，孙立宁 ，李 吉 ，宋宝玉 (1．哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室，哈尔滨 150001；2．山东理工大学机械工程学院，淄博255049) 摘 要：丝线传输的阻力控制和张紧力控制是引线键合机送丝系统的关键技术之一，对键合质量有着重要的影响． 为了解决-3前全 自动引线键合机送丝系统中的传输阻力大、传输张力不稳定等 问题，根据 引线键合．Y-艺过程和 系 统的技术要求，设计 了由气体导轨和真空张紧装置组成的低摩擦送丝系统，来实现金丝的低阻传输．建立了金线在 气体导轨和真空张紧装置 内的受力模型，得 出了二者的控制参数与金线作用力的关系；分别对金丝在气体导轨和 真空张紧装置内的受力模型进行了实验验证，实验结果表明达到了所要求的低摩擦力要求． 关键词：引线键合 ；送丝系统 ；气体导轨 ；真空张紧 中图分类号：TH165 文献标志码 ：A 文章编号：1672-6030(2010)叭-0031-06 StressM odelandExperimentonW ireFeedSystem of AutomaticW ireBonder LIUYue—tao一，LIUYan-jie，SUNLi—ning，LIJi，SONGBao—yu (1．StateKeyLaboratoryofRobotics，andSystem，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China； 2．SchoolofMechanicalEngineering，ShandongUniversityofTechnology，Zibo255049，China) Abstract：Resistancecontrolofwiretransmissionandforcecontroloftensionarethekeytechnologiesof thewirefeedsystem andhaveacriticalimpactonthebondingquality．Tosolvetheproblemsoflarge transmissionresistanceandunstabletransmissiontensileforceofwirefeedsystem inautomaticwirebond— er，low—frictionwirefeed system composedofairguideandvacuum tension devicebasedon thewire bondingprocessand technologicalrequirementsofthesystem wasdesigned toreducetheresistanceof wiretransmission．Thestressmodelsofgoldwireintheairguideandvacuum tensiondevicewereestab- lishedandtherelationship between thecontrolparametersand forceon thewireofthetwopartswere f0und．Experimentswerecarriedouttoverifythestressmodelsofgoldwireintheairguideandairten— sioner，theresuhsofwhichshow thatthemodelsmeetthelow frictionrequirement． Keywords：wirebonding