阴极荧光光谱有效收集效率的计算与测量（I）.pdfVIP

维普资讯 第 13卷 第 6期 光 学 学 报 Vo1．I3．No．6 1993年 6月 ACTA o rICA SINICA June．1993 嵋 ③ 阴极荧光光谱有效收集效率的 计算与测量 (I) 印建平 高伟建 黄孟才 ；午 (苏 再 苏州2]5006) 提 要 从点光源均匀发光模型出发·重枣导出了回转半椭球面镜前阴极荧光 (ca uⅡ吐n嚣。 ，简称 CL)光谱有效收集效率 的计算公式 ，分析讨论了收集效率 ” 1 引 言 近年来 ，随着电子显微术和微弱信号检测技术的不断发展与广泛应用，扫描电镜 (SEM)和 电子探针 (EPA)中的阴极荧光显微术及其光谱分析术 已日益发展成为一种研究晶体缺陷、杂 质成分 、能带结构 、发光中心以及各种能级复合发光动力学过程等的有效方法．鉴于CL发光 强度一般 比较微弱，CL信号的收集与传输效率 已成为 CL技术发展与应用的关键问题．因此 ， 讨论有关 CL收集系统光谱有效收集效率的计算 收集效率与系统参数的关系等，对于 CL收 集与传输系统的设计 以及两者的孔径匹配和耦台设计等均有着重要的指导意义． 典型的CL收集系统有球面镜系统 ]，光学透镜系统0]，抛物面镜系统 和椭球面镜系 统 等装置型式．其中椭球面镜收集系统因其光学系统简单，光谱范围宽和收集效率高等优 点，已获得广泛应用．作者 曾计算了椭球面镜的CL光谱 (一维全孔径)收集效率[，该计算方 法和结果仅适用于 cL光谱积分成像系统，而不能用于配置光谱仪器的CL单色成像和光谱分 析系统．本文在文献Es]的基础上，推导了回转半椭球面镜在点光源均匀发光模型下光谱有效 收集效率的计算公式 ，报道了理论计算与实验结果．文章首次解决了点光源均匀发光模型下椭 球面镜 CL光谱有效收集效率这一计算难题，也为CL收集与传输系统的设计，研制和安装调 试提供了一些理论依据． 2 几个基本关系式 为讨论方便 ，本文仅讨论对称收集 [即 ≠= (一 )，啦= (+4)， 一也 一也] 和对称出射 (即0一 + ao／2，目= 一Ao／2，AO一 一 )的情形．由几何光学方法可导 收稿 日期：1992年 1月 27日}收到修改稿 日期：1992年 6月 18日 *本课题 曾获国家 自然科学基金资助， 维普资讯 6期 印建平等 胡极荧光光谱有效收集效率的计算与测量 (1) 出 ： 2．】 CL发射光线与出射光线方位角的关系式 堡 二 !± 21竺 (1+e)一2ecos0 或 c硎一 告 器 ， ㈣ 式中≯和 0分别为 CL发射光线和出射光线与 轴正向的夹角 (见图1)，e为椭球面镜的椭圆率 (e— c／，c= )； 2．2 CL收集角 与出射角A0的关系式 4e2—4e(1+e)凹 考+2e2cos20~+(1+e)o0s 西 ==@os (2) (1-~-e2) 州 】-~-e2)c础 + 2e2(~os2 -Lc~a0 或 一cosI等 ． (3) 式中0 为出射光束方位角，定义为出射光束角平分线与x轴正向的夹角} 23 出射光柬方位角0的计算公式 一