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矩形辐射板弯曲振动复频超声换能器的研究 鲜晓军，林书玉 (陕西师范大学应用声学研究所西安710062) 摘要：研究了一种具有多个共振频率的矩形辐射板弯曲振动复频超声换能器，换能器由 纵振动换能器和矩形辐射板组合而成，由于二者间的相互作用，复合系统具有多个共振频率。 利用有限元软件对给定几何尺寸的换能器进行了模态和谐响应分析，绘出了其频响曲线。改 变复频换能器各构件的几何尺寸及纵振动换能器的位置，复合系统的共振频率将发生变化， 给出了频率变化的原因．分析表明，矩形辐射板弯曲振动复频换能器可以在不同的振动模态 上工作，具有多个共振频率，达到了利用同一尺寸的换能器产生多个共振频率的目的。 关键词复频换能器，矩形辐射板，弯曲振动，振动模态，谐响应 超声清洗以它独特的优势，已广泛地渗透到各行各业的高精度清洗领域，其中低频有利 于大污垢较高强度的清洗，而高频则有利于缝隙、间隙、深孔等的清洗，为了获得展佳的清洗 效果，需要超声换能器具有多个共振频率，实现多频清洗【¨。目前面市的超声设备大多是单 频工作，为了获得最佳的清洗效果和处理效果，要求超声设备的核心部件超声换能器具有多 个工作频率，本文提出了一种能够产生多个共振频率的矩形板弯曲振动超声换能器，该换能 器器由纵向振动夹心式压电超声换能器嵋’和一个弯曲振动矩形板组成，由于矩形辐射板具有 多个弯曲振动模式H’和大辐射面积的优点，利用纵向振子产生的纵向振动激发矩形板的弯曲 振动，通过纵向振子与矩形辐射板的相互作用，使复合系统具有多个共振频率。 l复频超声换能器的结构及特性研究 1．1复频换能器谐振特性的有限元及实验分析 矩形辐射板弯曲振动复频超声换能器的结构如图1(a)所示，其由矩形辐射板和夹心式 纵向振动换能器组成。由于换能器结构上的轴对称特性，运用ANSYSnl软件建立换能器 的三维对称模型，如图1(b)所示，这样可以简化计算量，提高计算速度。 (a) 换能器正视图 (b)换能器侧视图 图1．复频超声换能器结构模型 矩形辐射板复频超声换能器选用硬铝作为结构材料，选用PZT_4压电陶瓷作为驱动材 基金项目：国家自然科学基金资助项目 联系人：Email：xianxiaojun@stLLsnnu．edu．cn 料，极化方向为厚度方向。纵向振动换能器前后盖板的直径d和厚度氟分别40mm和15mm， 压电陶瓷片的直径同为d，厚度鬼为5mm，矩形辐射板的长，为134mm，宽w为50mm， 高h为20mm，纵振动换能器中心轴线间距离a为64mm。运用ANSYS软件对换能器的有限元 模型进行模态和谐响应分析，得到换能器振动以及辐射特性。 首先对换能器进行模态分析，发现换能器在频率为15-lOOkHz范围内具有多个共振模 态，但并不是所有模态能够得到激发而实现共振。为了得到该换能器能够激发的模态的共 振频率，对换能器进行了谐响应分析，激励电压为lV，换能器的谐响应曲线如图2所示．同 时，为了验证理论分析的正确性，按照理论设计的尺寸加工了此类复频超声换能器，并用 HP4294A阻抗分析仪对换能器了进行测量，扫频范围为15-100kHz，其频率导纳曲线如图3 所示。理论和实验分析表明，换能器具有多个能够得到激发的共振模态，但这些模态只是固 有模态中的一部分，提取这些频率所对应的模态后发现，不同的模态下矩形辐射板具有不同 的弯曲振动的形式。 3o 25 2o s山； 1 5 1 O o5 oO 15 30 45 ∞ 75 90 图2复频超声换能器频率导纳理论曲线 Snvt； 6327kHzSTRTE 卜