TiN薄膜注入银离子的抗菌性和抗腐蚀性研究.pdfVIP

刘 桐等：TiN薄膜注入银离亏三盟垫萱鳖塑垫壁垫笪堑壅 TiN薄膜注入银离子的抗菌性和抗腐蚀性研究。 刘 桐，唐慧琴，张魁，赵 杰 (天津师范大学物理与电子信息学院，天津300074) 摘 要： 研究了银离子注入以不锈钢为基底的TiN 衡过程，新合金的形成不受经典热力学和扩散力学限 膜的抗菌性及抗腐蚀性。抗茵实验表明，随着注入剂 制；离子注入是一个低温过程约100。C，它不会发生由 量的增加，抗菌性能提高，但是抗腐蚀性能下降。为了 于热畸变引起的工件尺寸变化，工件表面光洁度也不 制备具有抗菌特性和良好耐腐蚀性的医用不锈钢，通 会变坏，因而利用离子注入技术有可能研制出具有理 想特性的新材料¨’9。。 过离子注入方法，在镀有TiN薄膜的医用不锈钢317L 上注入银离子。用振荡平板法测试了抗茵率¨j，测试 所以，本文采取银离子注入的方法，在镀有TiN 茵种为大肠杆菌；用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在 薄膜的医用不锈钢3171。上注入银离子。用振荡平板 法测试了抗菌率，测试菌种为大肠杆菌；用电化学腐蚀 Hanks模拟体液中的耐腐蚀性能；测试了薄膜与基底 的方法检测了薄膜在Hank’S模拟体液中的耐腐蚀性 的结合力；通过X射线光电予能谱(XPS)、X射线衍射 能；测试了薄膜与基底的结合力；通过X射线光电子 (XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构 特征和各元素的深度分布。研究结果表明抗菌能力随 着银离子的注入剂量而增强，但是抗腐蚀性、膜基结合 (AES)分析研究了薄膜的结构特征。 力却有相应下降。 2 实验方法 关键词：银离子注入；抗菌性；抗腐蚀性 中图分类号：R318．08 文献标识码：A 文章编号：i001—9731(2006)增刊一0711—04 1 引 言 医用金属材料最常用于骨和牙等硬组织修复和替 ～1200#水砂纸逐级磨光，再用Al。O。微粉抛光至镜 换，如人工关节、人工骨、各种内外固定器械、口腔整矫 面光洁度，用蒸馏水和无水乙醇进行超声清洗烘干后 等n矗]。应用中的主要问题是由于生理环境的腐蚀而 备用。 造成的金属离子向周围组织扩散及植入材料自身性质 采用多弧离子镀的方法在317L不锈钢上先沉积 的退变，前者可能导致毒副作用，后者导致植入失 约l肛m的TiN薄膜。 效[3~5]。疲劳和磨损是影响组织不相容的另一重要问 MEVVA源离子注入主要技术指标：单束平均引 题。TiN薄膜的高硬度、耐腐蚀、抗疲劳使之成为很好 的改性薄膜。银是金属离子中抗菌能力最强的[6J。目 3 前，掺银的材料已被应用作粉末除菌剂、厕所用具、卫 X10Pa。 生设施等等，且都显示了其长期的广谱抗菌效果，但对 样品编号见表1。 其抗菌的机理解释仍需要深入研究[7]。材料中掺银有 表1样品编号 Table1 Numberof 各种方法，物理方法包括离子注人、电镀、PECVD镀膜 samples 等等。本文尝试在TiN薄膜掺杂银，使TiN薄膜除了 样品编号 表面镀膜 注入量ion／cm2 具有良好的机械性能和抗腐蚀性能的同时还具有抗菌 A0 TiN