高精度绝对式编码器Sinc函数指示光栅的研究.pdfVIP

电子测量与仪器学报 2009年增刊 i nc函数指示光栅的研究 高精度绝对式编码器S 卢新然杜颖财王树清王树洁 (中科院长春光学精密机械与物理研究所，长春130031) 摘要： 本文运用傅罩叶光学的棚关函数及功率谱的分析方法，通过光栅透过率函数的相关讨论，分析了莫尔条纹的功率 谱，以及透射式双光栅光学读数系统输出的光电信号的频谱。根据理论计算提出采用sinc函数的滤波光阑精码狭缝。并分 析了sine函数精码狄缝的信号质量。 关键词： 绝对式编码器：Sine函数指示光栅；正弦信号；谐波分析 中图分类号：TH741文献标识码：A TheResearchofthe PrecisionAbsolute EncoderwithSincFunction High opticalelectricity Indication Grating LuXinranDu YingcaiWangShuqingWangShujie of FineMechanicsand theChinese ofSciences l30031) Institute (ChangchunOptics Physics Academy Changchun Abstract：Thistext boththeFourier functionsandthe methodof the of apply optics’related analytical powerspectral，dicussdigree of the ofMoire aswellaSthetransmi鹦ionofdouble transparencygrating，analysespowerspectraifringe type grating Sinefuntionfiltration indictionwiththeoreticalcalculation．And spectrum．Advance electroopticalsignal’Sfreqency diaphram grating the ofSinefuntionindictionslit． signal’S analyses qualiw with encoder；Sinefuntion；sinesignal Keyword：Grating；absolute higlIquality；harmonicanalysis 高精度绝对式光电编码器信号细分技术是建 的方法提高信号的纯洁性。通常，是在莫尔光场上 立在一定的信号波形(通常为正弦波)基础上。分 覆盖一个具有某种几何形状和透射特性的空问光 离光电元件的电流变化、光栅刻划误差、信号幅值 阑，图l为编码器光学示意图。 调整误差等因素造成的高次谐波是影响信号质量 件 的：{i要因素，凶此如何消除高次谐波是提取高质量 正弦信号的关键。当波形偏离预定参数时，便会产 生细分误差，对编码器总精度的影响很大。现有的 高精度透射式双光栅读数系统一般采用的都足密 度型滤波光阑，即先规定了光阑的窗口形状，然后 图1编码器光学示意图 解出光阑的特性函