超精密加工表面微观形貌非接触在线检测系统.pdfVIP

中国机械工程第 11 卷第 3 期 2000 年 3 月 文章编号: 1004- 132 (2000) 03- 0334- 03 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测系统 赵清亮　李　旦　孙　涛　董　 申 　　　　摘要: 介绍了专门应用于超精密车床在线检测加工表面微观形貌的检测 系统。一种新式高分辨率同轴式激光轮廓仪与超精密车床的有机结合, 突破 了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制, 实现了加工与检测的一体 化, 达到了检测真正服务于加工的目的。介绍了激光轮廓仪的原理、结构以及 检测系统的工作原理。实验结果表明, 在利用超精密车床精密气浮导轨作为 激光轮廓仪工作台的条件下, 测量车削加工表面微观形貌时, 在高度方向上 赵清亮　博士 的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于 0. 1nm 。 关键词: 超精密加工表面; 在线检测; 非接触测量; 激光轮廓仪 中图分类号: T G 84　　　文献标识码:A 　　随着超精密加工水平的日益提高, 加工表面 微观形貌的检测问题也越来越引起人们的重视。 加工和检测相互依存, 缺一不可。超精密加工设备 与测试仪器的界限越来越不明显。对于超精密加 工来说, 在线检测显得尤为重要。目前国际上能达 到亚纳米级灵敏度的同轴式干涉轮廓仪虽然已有 成功的研究成果, 但它们一般并不是针对加工表 面微观形貌在线测量而考虑的, 有的也只是在特 定条件下才能进行测量[ 1, 2 ]。我们利用研制成功的 1. 床身 　2. X 向溜板 　3. X 向导轨电机 　4. 工件 　5. 真空 新型同轴式干涉轮廓仪与自行开发研制的亚微米 吸盘　6. 主轴箱　7. Z 向溜板　8. 主轴电机　9. Z 向导轨电 超精密车床进行有机集成, 实现了对超精密车床 机　10. 刀架　11. 测量端面激光输出　12. 测量柱面激光输 加工零件表面微观形貌的非接触在线检测, 达到 出　13. 检测系统测量头 了检测服务于加工的目的。 图 1　 检测系统总体布局 表 1　 亚微米超精密车床导轨的性能指标 1　检测系统的工作原理 全程重复 最大移动距离 移动速度 导轨直线度 1. 1　检测系统总体结构 导轨 (mm ) (mm m in) (m 100mm ) 定位精度 ( m ) 检测系统的总体布局见图 1。X 向和 Z 向导 X 向 160 0～ 320 0. 2 ≤±0. 1 轨是T 形布局, 主轴箱置于Z 向溜板上, 激光测量 Z 向 140 0～ 300 0. 2 ≤±0. 1 头置于X 向溜板上。测量头在实线位置时为测量 　　 由表 1 可以看出,X 向和 Z 向导轨的直线度 工件端面, 在虚线位置时为测量工件柱面。在车床 在 100 mm 行程内, 只有02 m , 而在进行表面