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处童化工太霉
“,喈L出哪doe-“kh山口 2011年京台化学工程与技术学术研讨会
溅镀裂造的非晶赏碳之532
am可兄光拉曼光藉敦掾分析方
法探封舆颓缵碳相网研究
沈艾霖
台南成功人睾化粤T程研究所,北京
摘要:颓缵碳相网材料的光措研究,随著量测僚件舆敷掾庭理方法的差舆,舍得到不同的光藉分析结
果,造成掣者常以自由心遥的方式解释,孽致相网研究的理渝舆结果解撩呈现混乱状憋。本研究使用
溅皴裂侑1i含氪的非晶耍碳膜,探封敷掳魔理封於相M雷射聚焦僚件下逵缄量测之532nm可见光拉
曼光谱的影辔,罐勰一股魔理光措数掾常使用的多峰曲缘撮合法,舍造成光措分析的结果_史捣混乱。
本研究率先使用稹分面横法分析,十fll,J量测僚件的aJ_见光拉曼光谱,得到的结果较有一致性。
弱键字:颧缵碳、多6晕ffn缘撮合法
引言
本谕文提供不同於以往的觐黠,榆祝颧缵碳舆非晶夤碳的研究舆敷掳魔理方法。
l寅验部分
1.1寅黢耗材和段储
1.1.1寅黢耗材
99.99%1。
碳靶(SDIC
1.1.2寅骏彀侑
磁控溅镀楼台(Ma盟etic
Sputtering)、可兄光拉曼光谱俄舆OriginPro⑧软髓。
收稿l|期:20ll—06一11
98—2220一E一006—008)
基金项日:园科含(NSC
作者:女,博Ij生
*通飘瞬格
E—mail:z9102010@email.ncku.edu.tw
建童饨工太孽
-;她“*州cn一“m一* 2011年京台化学工程与技术学术研讨会
2结果舆讨榆
2.1拉曼可兄光光谱
如同一所示,三徊不同檬本的可兄光拉曼光措,差吴在於碳膜舆基材(A1203)同的金屠
眉程颧。
矧一、nJ‘兑光拉曼光措吲。
2.2光藉敷撩虞理
2.2.1敷掾虞理筢圉
如表一所示,使川九倜不同的数摅魔理鲍罔魔理可兄光拉曼光滔。
表一、 奉研究定羲的拉曼光滔敷摅魔理筢网A到I。
inVisibleRaman
Designated掣nbDl Analyticregions speclra(cm—1)
A 500~2500
B 600~2400
C 700~2300
D 800—2200
E 800~2100
F 800~2000
G 800~1900
H 900~2000
, 900~1900
2.2.2敷擐虞理结果
III拉曼光藉的各面稹比值,
面横比值的结果如同二舆周三所示,比较SampleI到Sample
I、
簸现此二倜檬本的横分面横比值在相同分析篼网稳相似,且檩犟差皆较小;封於Sample
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