濺鍍製造的非晶質碳之532nm可見光拉曼光譜數據分析方法探討與類鑽碳相關研究.pdfVIP

濺鍍製造的非晶質碳之532nm可見光拉曼光譜數據分析方法探討與類鑽碳相關研究.pdf

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处童化工太霉 “,喈L出哪doe-“kh山口 2011年京台化学工程与技术学术研讨会 溅镀裂造的非晶赏碳之532 am可兄光拉曼光藉敦掾分析方 法探封舆颓缵碳相网研究 沈艾霖 台南成功人睾化粤T程研究所,北京 摘要:颓缵碳相网材料的光措研究,随著量测僚件舆敷掾庭理方法的差舆,舍得到不同的光藉分析结 果,造成掣者常以自由心遥的方式解释,孽致相网研究的理渝舆结果解撩呈现混乱状憋。本研究使用 溅皴裂侑1i含氪的非晶耍碳膜,探封敷掳魔理封於相M雷射聚焦僚件下逵缄量测之532nm可见光拉 曼光谱的影辔,罐勰一股魔理光措数掾常使用的多峰曲缘撮合法,舍造成光措分析的结果_史捣混乱。 本研究率先使用稹分面横法分析,十fll,J量测僚件的aJ_见光拉曼光谱,得到的结果较有一致性。 弱键字:颧缵碳、多6晕ffn缘撮合法 引言 本谕文提供不同於以往的觐黠,榆祝颧缵碳舆非晶夤碳的研究舆敷掳魔理方法。 l寅验部分 1.1寅黢耗材和段储 1.1.1寅黢耗材 99.99%1。 碳靶(SDIC 1.1.2寅骏彀侑 磁控溅镀楼台(Ma盟etic Sputtering)、可兄光拉曼光谱俄舆OriginPro⑧软髓。 收稿l|期:20ll—06一11 98—2220一E一006—008) 基金项日:园科含(NSC 作者:女,博Ij生 *通飘瞬格 E—mail:z9102010@email.ncku.edu.tw 建童饨工太孽 -;她“*州cn一“m一* 2011年京台化学工程与技术学术研讨会 2结果舆讨榆 2.1拉曼可兄光光谱 如同一所示,三徊不同檬本的可兄光拉曼光措,差吴在於碳膜舆基材(A1203)同的金屠 眉程颧。 矧一、nJ‘兑光拉曼光措吲。 2.2光藉敷撩虞理 2.2.1敷掾虞理筢圉 如表一所示,使川九倜不同的数摅魔理鲍罔魔理可兄光拉曼光滔。 表一、 奉研究定羲的拉曼光滔敷摅魔理筢网A到I。 inVisibleRaman Designated掣nbDl Analyticregions speclra(cm—1) A 500~2500 B 600~2400 C 700~2300 D 800—2200 E 800~2100 F 800~2000 G 800~1900 H 900~2000 , 900~1900 2.2.2敷擐虞理结果 III拉曼光藉的各面稹比值, 面横比值的结果如同二舆周三所示,比较SampleI到Sample I、 簸现此二倜檬本的横分面横比值在相同分析篼网稳相似,且檩犟差皆较小;封於Sample

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