探针式固态硅压阻动态压力传感器及其应用.pdfVIP

探钏式国态让J畏阻动态坛，j传感器及}￡应用 航空工业患f-霹第三零西乎究所 摘要 拇针式西惑硅压咀或动毒豆七博葛摹罡甓萼 集裁电路工艺裁成镟型j．：、-．zmm，芯片，幸j周特殊的罄 体疑计与安装工艺捞木爱甘砰裁曲直径ct-：．2mm的姑鑫压 力待感器，萁额畸燕蕊可连-0+一i。．’旺上静态总精度遮“ ％，’拿．S旺上，是瓦前茜走风蔫．发动机辱铡试帮门测量压 力熊币可缺少的器鸯 芙挺两 糖堑苗片 牯接 赞态畸应 总精度 溢度稳定性 在醺簿科学研究的各种测试技术蟛研究中，探瞥式固态 硅压陧动态压力传感器为许多实验提供了不可缺少的实验参 靛，如航空发动机的进气道动态压力参数髓棱准与灏试、导 弹坤击波动冬压力测量及各种热风漏中压力分布的校准与测 试实验。我国目前使用的直径①z．2mm以下的动态压力传感 器主要是进口产品。由于该产品主要应用于国防部门，而且 剞作起来技术难度大，机械化程度小，因此造价十分昂贵。 D0 露前国外生产的直径0Z．2mm的压力传感器每只价格约在7 夔元以上，而且使用寿命较短，圄此，为满足我们国防科研 的需要，降低国内用户静负担，推动国内微型压力传感器的研 究水平，在r八五j期间，我们研制了直径①2．2mm的微型动 态压力传感器。本文将从两个方面介绍我们的研究情况。 (一)探针动态压力铸感器的研究情况及所达到的技术水平 该动态臣力传感器是以半导体扩散硅材料为压力敏 感材料，主要出传感器芯片、底座、外壳、顶盖、狰偿管等 几部分经战。其中传戆器芯片是由半导体单晶碡靛爷l，经过 氧化、扩散等集成电路工艺制作面成，其工作原理利两半导 材料的压照敢’摩原理，罘．卑患斯登电桥电路，杏绐电柽供应恒 定电压鲍靛惹：‘F，戴量出与授测五力成正比的桥路不平衡输 出电压。 该芯片吾设计上罘焉瞬是平膜片方杯结榴形式，芯片尺 寸为1．2X}．?㈣，敏感膜片厚度约为2D¨m，电阻条尺寸为 l 0O×l O灶|叮j，敏感电阻曲熙茁为1．2KQ。微型动态压力传感 器的底座累用懿是与单品畦材料强度特性相近的陶瓷材料， 传感器的辫、壳采用不锈钢材丰4。该传感器的整体结构图见匿 (1)。 一 ^hB — !．过滤网 2．顶盖 j．传感器主壳体 4．传感器芯片 ‘．J文州t；h．f0感≥Sj茂，，t体7．导甓+ 图(1)微型传感器总体结构图 丧谈徽盈压力传戆器莳研究中．除了整体方囊设计外， 我们对镄型压力砖戆器簏钽作工艺敏了’大量曲实验，主要 解头了以下几个工艺同逛： (1)截型芯片静设+-I：亩于该顷目中探舒式压力传感器 102 ．．五蔫 ： 匡簪毒若掣．￡i。露{瘴彳．肇专f单岛缍鸭，还挣麓 季f亍提高传感器薛帚敏劈静蔓孑一·隆蹩壁 我≯孝谤唾要 i一。最若也鼍曩专j?-}．蠢。?二，。、、ij、，1二t÷。L二一一节、_ 厂商一接触．宙亍我氢磐俸待孽彝≮片载俸三莎‘簟拳照刁： 戮￡匿羲羲术水乎 髫此．f-：．，坟薯j甓妾重誓孵≈：· 生声i一家突理二运拶遗笸我ii嚣等一，反设”≯Jc-囊．罩萼}了 ~正，卺弦寿F筻缚群罩：式、 x．一≯_誊． 葛砖争，-：’丁譬一‘j 对意线足寸为 ．。a。哥l氍：j一、。?事薛畦片侉畦妒，感曼善 静匏罄?i霹生+’，。w，鞍蘑差壹琴；i+。二一m． ：?j徽蔓爱：：玉靠传感器薛扳械璇霄：其寸=包括侉遣器 外壳、顶矗、底鏖、过滤网及民商导压管的设葺选辑：吞 具律设甘野，主要考庸机械扭工齄之簿熙麓导娶笨安袭二 艺中敲要求。 ij；微型动态亟力传感器簿毫部联接闫题：其中包括篝 憋器鹭内部电器鞋接与芯片与寝奎筹祝械联接两帮争：、 微型动态压力传感器薛寅部电器联接主要是指芝孝。∑