使用软磁薄膜抑制共平面传输的射频噪声.pdfVIP

T技市与应用 l RCIINO 0Cy▲ APPL!f 110N 使用软磁薄膜抑制共平面传输的射频噪声 DepressingCo-planarTransm issionRFNoiseUsedSoftMagnetic l【m 薛蕙 编译 摘 要 ：文章介绍使用软磁材料薄膜抑制共平面传输的射频 (0．1～20GHz)噪声技术与材料的试验验证 由集成化技术和 器件可知，共平面传输系统由磁膜一聚酰亚胺膜—铜 (cu)传输线一籽晶层 (cu／Ti)一玻璃基片组成 ．在本案产品 中，信号线宽50 m，厚度 3 m (特性阻抗为50Q)；用于抑制噪音的磁膜是CoPdAIO，CoZrO和CoNoZr， 它们采用射频溅射技术制备。每种磁膜的饱和磁感应强度约为 10G。它们的各向异性场分别是23()、89乖¨ 60(oe)．铁磁共振频率 (FMR)分别是4．2，2．5和 ()．7(GHz)。由于磁膜存在铁磁共振损耗．故有磁膜的共平面传 输线的功率损耗要远远大于无磁膜和存在非磁性膜的共平面线，这也就是软磁薄膜可以抑制共平面传输射频噪 声的机制。 关键词 ：软磁薄膜，噪声抑制，射频，共平面传输，功率损耗 中图分娄号 ：TM27 立献标识 码 ：B 立童编 号 ：1606—7517(2014)10—3—136 l引言 射在玻璃基片上沉积而成，磁膜等与Cu传输线由聚酰亚 胺绝缘膜隔开。为了使磁晶自旋定ruJ并提高磁各ruJ异性场 在射频半导体电子设备和电子元件集成技术的发展进 ( )，在用离子研磨制成尺寸为2×l5mm 的图形后，给 程中，有关电子元器件和传输线中的电磁干扰 (EMI)问题 磁膜施加 ～3kG的外磁场 ．在 3{)O℃左右退火一小时。 十分突出，受到设计工程师们的强烈关注。在移相器 、开 CoNbZr、CoZrO和CoPdAIO磁膜具有单轴磁各向异性， 关器件 、可调衰减器等等射频器件中，磁性材料对它们的 其磁性见表 l所列。 性能起着重要的作用，例如，利用铁磁薄膜材料产生的损 耗，可以抑制射频集成器件中传输的电磁噪声。在这篇文 表 1CoNbZr、CoZrO、CoPdAtO磁膜的磁性能比较 —＼ 磁膜 章中，介绍几种在传输线上使用的软磁材料薄膜 ，例如 性能 ～ ＼ CoNbZ C0Zro C0PdA1o CoPdA10、CoZrO 以及 CoNoZr等磁膜 ，同时将它们的性 膜 (m) ～1 ～l -2 电阻率(n ·cm) 120 47() 22(1 能与非磁性金属 (如Cu)和共面线本身的性能进行了比较。 4 Ms(kG、 ～8．5 ～l() ～1(1 H0(oe)(易轴) ()．8 4．8 l】f1 2实验程序与检测 (难轴 ) t)．8 1．5 4．1) (oe) 6．8 89 23() 本例共面传输的没汁计算使用了Muller和Hi—lberg ／~(