柔性透明导电ZnO基薄膜的制备及其发展前景.pdfVIP

2014年 8月 湖北第二师范学院学报 Aug．2014 第 31卷第 8期 JournalofHubeiUniversityofEducation Vo1．31 No．8 柔性透明导电ZnO基薄膜的制备及其发展前景 顾期斌 ，杨万来 ，梁 飞。 (1．湖北第二师范学院 建筑与材料工程学院，武汉430205；2．彩虹 (合肥)液晶玻璃有限公司，合肥230011； 3．武汉光讯科技股份有限公司，武汉430205) 摘 要：随着电子器件向小型化和轻便化方向发展，柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换 代产品，柔性透明导电薄膜ZnO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染，成为当前的研究热点。总结了 近年来对柔性衬底材料处理的方法，分析了柔性透明导电薄膜的研究历史和现状。综述了柔性透明导电ZnO膜的主要 制备技术及其优缺点，阐述了当前该领域的最新研究成果及应用，并讨论 了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其 未来发展趋势。 关键词：ZnO薄膜；柔性衬底；透明导电薄膜 中图分类号：TN304 文献标识码 ：A 文章编号 ：1674．344X(2014)8-0011-04 基金项 目：湖北省 自然科学基金项 目(2013CFB014)；湖北第二师范学院院管项 目(2008A012) 作者简介：顾期斌 (1961一)，男，教授，研究方向为无机非金属材料。 1 引言 聚酸亚胺 (Polyimide，简称 PI)、聚丙烯二醋 (polyprop— 当前，透明导电薄膜在电子领域 已经取得广泛的 yleneadipate，简称ppA)、聚四氟乙烯(Teflon)、聚合的 应用 ，但这些薄膜都是在硬质材料衬底上制备的，硬质 2一 甲基丙烯酸 甲醋 (PersPex)等 J。其 中比较常用 材料衬底一般包括硅片、玻璃、陶瓷等。与这些传统的 的是PET和 PI，因为这两种衬底可 以承受 200~C的高 硬质材料衬底相比，在有机柔性衬底上制备的透明导 温，研究表 明当衬底温度升高时，薄膜致密性提高，密 电薄膜不仅可以保持在硬质衬底上的光 电特性，而且 度也不断增加。由于柔性衬底本身的固有缺陷，在柔 还具有许多独特的优点，比如质量轻、可折叠、不易破 性衬底上制备的透明导电薄膜与衬底之间的粘附性 比 碎、易于大面积生产、便于运输等。这种薄膜可广泛应 较差，这会使得薄膜的电学性能变差。为了提高粘附 用于制造柔性发光器件、薄膜晶体管、平板液晶显示 性，可先对薄膜进行预处理，常用的方法是在衬底上预 器、红外辐射反射镜涂层和太阳能电池透 明电极 以及 沉积缓冲层 ，使其阻隔性提高，粘附性变好。常用的缓 窗口材料等，还可作为透明隔热保温材料用于塑料大 冲层材料有ZnO、GaN、A1203、SiO2等。2003年，Elvira 棚、汽车火车飞机玻璃和建筑物玻璃贴膜。随着 电子 Fortunato等人 采用射频磁控溅射的方法在一种新 器件 的小型化和轻便化，柔性衬底透 明导 电薄膜引起 型有机柔性衬底上预沉积一层 100nm的Si02缓冲层 了人们广泛的关注，被认为是硬质衬底材料透 明导 电 后制备 了 ZnO：Ga透 明导 电薄膜 。薄膜为多晶且 薄膜 的更新换代产品。 (002)峰取 向明显，薄膜 电阻率最低可至 2．0×10 2 柔性透明导电ZnO基薄膜的制备 n ·em，薄膜的整体透过率大概在68％左右。这对 2．1 衬底材料 ZnO基薄膜在平板显示器件上的应用有重要意义 。 在有机衬底上沉积透明导电薄膜首要的问题是选