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第一部分晶硅材料、晶硅太阳电池 277
超纯氨杂质分析
谭 云 张琳
(大连保税区科利德化工科技开发有限公司，辽宁大连116600)
摘要超纯氨现广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域，在PV行业，则作为晶体硅太阳能电池中氮化硅
薄膜重要的氮源，它的质量对太阳能电池起着至关重要的作用，因此对其分析技术提出了较高的要求。本文
论述了超纯氨中痕量杂质的分析方法，特别是使用光腔袁荡光谱法对极具挑战性的超高纯度气体中微量水
分的分析。
关键词超纯氨；痕量杂质分析；微量水分分析
of inUltra PureAmmonia
Analysis High
Impurity
Yun Lin
Tan Zhang
F．T．Z．CREDITChemical Co．Ltd．，Dalian116600，China)
(Dalian Technology
Development
iS fields．InPV am-
Abstract ammonia usedinLED、TFr、ICandother
Ultra-pure widely area，ultra-pure
the solar ammo-
moniaiSthe sourceofsiliconnitridefilmsin siliconcells，the of
nitrogen crystalline quality
nia an roleinsolarcells．Soits demanded illustratesthe
important analysis higher．Thispaper analysis
plays
oftrace in the oftracemoistureon
impuritiesultra-pureammonia，particularlyanalysis ultra-highpuritygas
by spectroscopy．
cavityring-down
Ultra Pure moisture
KeywordsHigh Ammonia；traceimpuritiesanalysis；traceanalysis
此其分析检测技术也日显重要。以往的分析检测
1前言 方法和仪器不仅检测灵敏度低、功能不够完善，而
且在检测其各种成分含量时，
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