软X射线多层膜的研究.pdfVIP

软X射线多层膜研究 张众王占山王风丽王洪昌吴文娟秦树基陈玲燕 (同济大学精密光学工程技术研究所) 对软x射线激光干涉实验的需要，开展了13．9nmX射线激光麦克尔逊干涉仪用Mo／Si分柬镜的研究， 得到了较高的反射率和透过率。为了拓展软x射线多层膜的应用范围，研制了软x射线超反射镜，取 得了较好的结果，还研制了4．48nm短波长x射线高反射镜，并取得了初步的结果。 关键词：软x射线，多层膜，分束镜，超反射镜 一、 引言 使用高质量多层膜光学元件的软X射线光学系统可以应用于许多研究领域。例如在 下一代集成电路的加工中，软x射线投影光刻技术越来越受到人们的关注‘1一。；基于多 层膜技术的软x射线高分辨天文望远镜在对太阳的研究起到了重要的作用u¨；软X射线 多层膜在ICF诊断¨1和同步辐射光学中也都获得了重要的应用¨1。根据目前国内对软X 线多层膜反射镜。 二、 多层膜制备与检测 本文中所有的多层膜元件均采用直流磁控溅射方法制备。系统的本底真空度为 一部分来自于合肥国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量实验站，另一部分来自于北 京高能物理研究所同步辐射研究室3WBI光束线。 三、 迈克耳逊干涉仪用软X射线分束镜 软x射线分束镜是软x射线干涉仪的核心元件。马赫贞德干涉仪¨1是最早使用的 软x射线干涉仪，它包含2个分束镜，探针光束在每个分束镜上通过一次。在探测等离 子体密度的过程中，由于等离子体源的碎屑飞溅，所使用的分束镜在每次试验后都会碎 裂，因此，马赫贞德干涉仪的使用成本是比较高的。为了降低成本，采用迈克耳逊干涉 仪来代替马赫贞德干涉仪是一个比较好的选择¨1。在迈克耳逊干涉仪中，只需要一块分 束镜，探针光束从分束镜的正反两面各通过一次，因此要求所用分束镜正反两面的反射 率与透过率必须是相同的。所以迈克耳逊干涉仪用分柬镜与马赫贞德干涉仪用分束镜在 =7．2nm)是沉积在窗口的一面，而迈克耳逊干涉仪用分束镜的窗口两面要沉积相同的 —．425．． In-_-ch。翻h●_lr--●hrhr哪I瞳lr inMicheIsonInt-rhrom●—嚏Ir Iplitl囊r Splll2er structuresof usedin andMichelson Fig．1 splittersMach_Zehder 图1马赫贞德干涉仪和迈克耳孙干涉仪用分束镜多层膜结构 图2给出了迈克耳逊干涉仪用分束镜正反两面的反射率和透过率测量曲线。这种迈 曲线具有明显的震荡。从图2中可以看到，正面的反射率比反面的略有下降，这是由于， Si3N4基片正面的粗糙度比反面的粗糙度大。由于制各的多层膜周期厚度比设计值偏小， 自于合肥国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量实验站。 c卫t‘葺—■J上‘芒‘卫卫．最 Wivel蛳呻．tim Wavelength·nllA two coatedmembranesversus reflectivitiesmeasuredon both·sides Figure2．Experimental withthe of incidence7．20 wavelengthanglegrazing 图2．入射角为7．20时，迈克耳逊干涉仪用分束镜正反两面的反射率和透射率测量曲线。 四、Mo／Si高反射镜和超反射镜