氧化物薄膜地激光预处理效应研究.pdfVIP

第29卷 增刊 中 国 激 光 Vol.A29,Suppl 2002年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June,2002 SC章编号:0258-7025(2002)Supplement-047304 氧化物薄膜的激光预处理效应研究 胡建平 傅雄鹰 邱服民蒋晓东 (成都梢密光学工程研究中心，成都610041) 提要 对高功率激光薄膜常用的Hf0z场q.2t0,旧q,(Zro,十姚q)JSiQ和Tatq了Siox等膜料镀制的高反膜， 采用N-on-1激光运行方式，即对薄膜单点辐照的激光能量密度，以薄膜损伤闹值的印%开始，由小到大直到薄膜 发生损伤，进行激光预处理效应研究。实验表明，H10x/SQ高反膜的激光预处理效果最好，激光损伤阔值提高3 倍以上 ZrQ/Sq和(ZrO,+姚马)岛q次之J场魄JSA 较差。对HW SO,薄膜激光预处理研究发现，其效应 有两种形式，薄膜激光老化和薄膜表面缺陷低能量密度激光清除。薄膜激光损伤尺度和程度对光谱性能影响的实 验表明，薄膜激光损伤程度对光学性能的影响有较大的差异，因而对于高反膜，损伤阔值不应以单纯的激光损伤为 判断依据，应以不影响实际应用的激光操作阐值为依据。 关健词 激光预处理，损伤阔值，高反膜，激光损伤 中图分类号 T1,1249;0484.4 文献标识码 A LaserConditioningEffectofOxideMultilayerCoatings HUJian-ping FUXiong-ying QIUFu-min JIANGXia〔卜dong (ChengduFineOpticsEngineerResaerchCznter,Chengdu610041) AbstractInthispaper,themetingsamplesaredepositedbyreactiveelectron-beamdepositionusingthematerialsof HIg/SiQ,Zrwsioz,(Zro+Y,Os)JSQandTazWSiQrespectively,forhighpowerlaser,thestudyoflaesr extditicningeffectofoxidemultilayer~ wastaken切 usingN-on-1mode.Theexperimentresultsshowthatthe differentmaterialsmirrorhavedifferentlaserocnditioningeffect.TheHfO,岛qmatingisbestforimprovementof damagethreshold,upto3times.TheZrWsiQand(ZCO_+Y,O,)/SOzisbetter,upto1.5times.ButforTaz051 Siot，thelaserconditioninghasalmostlynoteffect二thresholdimprovanent.EspeciallyforHW SiQmirror,laser cmnditioning,themechanismsarefoundtobetwokindsofsituation(state),laserannealingandlaserclaenofcaoting Theexperimentofdamagesizeanddegreeinfluencingonitsspectrumshowsthatthedamageofscaldlessthan200ym andpithavealmostlynotinfluenceontheirreflectivity,forthedamagediameterlargerthan500lunscaldand delaminate,thereflectivityofcoatingdroplessthan10%,soforHRmatingitisbetterthatthedamagethresholdis