真空镀膜实验教学初探.pdfVIP

2010年海南省机械工程学会 真空镀膜实验教学初探 杨亮 曹阳林仕伟 (海南优势资源化工材料应用技术教育部重点实验室，硅锆钛资源综合开发与利用 海南省重点实验室，海南大学材料与4匕-r-学院，海南海口570228) 摘要：随着科学的进步，真空技术已经深入到各行各业。真空镀膜实验作为理工科大学本科学 生的--H认识真空现象、掌握真空技术、应用真空进行材料制备的专业实验，为了能更好的完成实 验教学任务，使学生更积极有效、系统全面的掌握真空技术，进行高效、有序的实验学习，进行实 验教学探索是有必要的。 关键词：真空技术镀膜实验课堂设计 1引言 节，学生也应该重视实验学习这一直接知识来 随着科学技术的不断进步，薄膜材料在 源环节。 光学、电子技术、原子物理、半导体技术、 2．1明确实验目的 宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用，推 本实验根本环节是使学生了解真空方面的 动了薄膜制备技术的蓬勃发展，许多新型的 基本知识，熟悉常用的真空获得、测量仪器的 镀膜方法与工艺也不断涌现。真空蒸发镀膜 工作原理，使用注意事项，掌握高真空获得、 始终是一种重要而基本的薄膜制备方法【jJ，许 测量方法，掌握真空镀膜的方法。在明确的实 多高校把真空镀膜技术进行了推广，要求在 验目的指导下，就要为达到这一目标制定详细 校的理、工科学生根据所学专业不同，不同 的实验安排，实验前期准备工作，课堂组织形 层次深度了解和掌握真空镀膜技术。在材料 式，课后评价等，这样才能更出色完成这一目 学的各分支中，薄膜材料科学的发展一直占据 标。 极为重要的地位，而真空镀膜实验是薄膜材料 2．2．合理安排实验 学中最基础，最成熟的实科1。。可以这样说， 由于本实验采用的是H44500B型真空镀膜 “真空镀膜实验”在某种意义上讲奠定了薄膜 机。该真空镀膜机的真空室较大(50升)，采 材料的基础， “真空镀膜实验”也成为近代物 用机械泵(2X一8型)、扩散泵(TK一200型)二 理实验或材料专业实验的重要一分子，他成为 级抽气系统，他们的抽气速率相对较低；油扩 学生了解真空现象，掌握真空的技术、应用真 散泵，预热时间长，故将实验课时安排为连续 空条件进行工作的一把钥匙【2J。 四小时；此实验涉及内容繁多，包括真空基础 知识，机械泵，扩散泵的工作原理，物质的蒸 2实验安排 发过程，真空中已蒸发物质的运动，薄膜形成 科学实验能更直观的反映科学理论，同 机理等；仪器设备套数少(仅一台)，故只能 时也能加强对科学理论理解的深入。因此实 采用4～5人／组的授课方式，按班级名单并适当 验课也就理所当然成为自然科学教学的环节 调整每组男女生的比例确定实验分组，这种形 中的重要一环，对这一环掌握的好坏直接影 式即有利于控制实验进行过程，更有利于学生 响到培养的人才的综合素质的高低。所以教