用于超声治疗的压电陶瓷材料地研究.pdfVIP

2002年中国电子学会第十二届电子元件学术年会论文集 用于超声治疗的压电陶瓷材料的研究 曾德平刘光聪刘锦 信息产业部电子第26研究所重庆400060 捕要本文研究了xPZ—yPT—zPMs三元系统陶瓷材科，讨论了Z为一定值时￡3，／Eo，K。， Q．与Zr／Ti比的关系，材抖工作稳定性与组分的关系，从而优化配方，得到材抖性能优良，工 作稳定性好。适用于超声治疗的压电陶瓷材科． 关t词压电陶瓷起声治疗换能器 1．前言 压电陶瓷是一类用途十分广泛的陶瓷材料，就其应用，～般分为两大类——压电振子和 压电换能器。前者主要利用压电振子本身的谐振特性，后者主要是直接利用正逆压电效应进 行机械能和电能的相互转换。其中利用压电陶瓷的逆压电效应，在高驱动电场下产生高强度 超声波，以超声波为动力的装置已得到广泛的应用，如超声乳化，超声焊接，超声打孔，超 声清洗，超声粉碎等等，超声在医学领域的应用也十分广泛，如B超，超声理疗，超声美容， 超声碎石等。这些应用归纳起来主要有两个方面，一是超声诊断，二是超声治疗。超声诊断 是用压电陶瓷制成的超声波探头发出的超声波在人体内传输。遇到病灶能反射回来，被压电 陶瓷传感嚣接收，经一系刑处理后，在荧光屏上显示出来，通过计算声波传输的时间等，就 能确定病灶方位及大小。与超声诊断相比，超声治疗发展显得较慢，但近年来，通过医务人 员和工程技术人员的努力，超声治疗取得了较大的进展，如超声波高强聚焦治疗肿瘤，超声 波心肌消融等等，取得了较快的发展。超声治疗基本原理是利用超声波作用于病灶，病灶组 织由于血液循环差而产生热，热使病灶组织蛋白变性，从而达到治疗效果。在超声治疗中， 压电陶瓷换能器是核心元件，它包括换能器材料、结构设计和制作工艺等几个方面。换能器 结构的设计、制作工艺已在另文中讨论f”。本文主要讨论用于超声治疗的压电陶瓷材料。 2．材科设计 用于超声治疗的换能器有其特殊的要求，如超声聚焦换能器，聚焦后在焦点处的声强达 到数千～上万W／cm2，在聚焦区域内短时间(1秒左右)即可产生80(2以上的瞬时高温，因 此，换能器材料必须设计为大功率的压电陶瓷材料，材料不仅要求压电性能好，而且频率稳 定性要高．为此，我们对多种配方进行了严格的筛选，确定以PbZrO，一Pbn03--Pb04n，。Sb∞)O， 三元系统作为主配方，适当掺杂，实验发现，该系统有较高的K和Q。，频率和温度稳定性 好，高频下损耗小，能满足换能器要求。 3．材料制备 3．1实验方法 303 一zPMS为主配方，其中x为35～55，Y为55～35，z为3～20，按化学配比进行配料，采用 传统陶瓷制造方法制备材料。主要的工艺参数为：预烧温度880C／2hr，烧成温度1240～1280 后，在室温下用1KHz的低频测量介电常数e，3T，e。．用HP频谱仪测试样品的谐振频率和反 谐振频率，根据有关公式计算出材料的相关参数。 3．2实验结果和讨论 3．2．1材料的介电、压电性能 为了弄清材料的基本性能，实验中研制了不同Zr／Ti比和不同PMS含量的样品，井测试 样品的介电、压电特性。实验发现：当PMS不超过一定值时，其e，3T，e。，K，(k曲线规律 基本相似，结果如图1，2，3所示，图中取PMS的值分别为0．050，0．075，0．100。从图可 以看出，当PMS值一定时，在某一对应的Zr／Ti比下，e”r／eo，I(口均可获得最大值，PMS 组分不同，获得最大￡”r／eo，I(D对应的Zr／Ti比不同，PMS组分越小，￡r／￡o和l(p峰值 对应的Zr／Ti比越高，但介电常数和k最大峰值所对应的Zr／Ti比并不完全相同，且e，，‘／e。 的曲线更陡。Q。值和K曲线峰值正好相反，当K最大时C)m晟小，这和其它的三元系统所 得的结果相似．说明混合物组分临近相界线时获得了最大的e3，T，￡。，K，最小的(k，这可 用Pz—PT～PMs三元相图解释。根据实验结果，我们在确定配方参数时，就要根据换能器 本身的特点，兼顾e，，1／￡。，l(p，Q。值，取e，，T，e。，1(p，Q。都适宜的值作为最佳材料的选 择。 3．2．2 PMS对材料稳定性的影响 Pz—PT—PMs三