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国博士生学术论坛
直线导轨四自由度同时测量方法的研究
匡萃方，冯其波，张斌，陈士谦
(北京交通大学理学院，北京100044)
摘要：提出了一种基于半导体激光单模光纤组件同时测量直线导轨四自由度误差的新方法。以单一准直的激光束作为测量
基准，用角锥棱镜和分光器分别作为直线度误差、角度误差测量的敏感器件，实现了水平和竖直方向直线度及俯仰角、偏摆
角四个自由度误差的同时测量。分析了系统的测量原理。进行了稳定性、重复性以及与美国API5D测量系统比对实验，理
论分析和实验结果表明：系统测量直线度的分辨率小于0．1iana，角度的分辨率小于O．5。，在测量距离为2m的条件下，直
线度、角度测量精度分别±1．0I．trn／m、1-0．5”。测量方法具有结构简单、移动部分不带电缆和现场测量方便等优点。
关键词：测量与计量；四自由度测量；直线度误差；角度误差；直线导轨；半导体激光单模光纤组件
中图分类号：TN247。TH741
for
oftheMethod
Study Measuring
GeometricErrorsofaLinear
Stage
KUANG Bin，CHEN
Cui-fang，FENGQi-bo，ZHANGShi—qian
(Schoolof 1
Science，BeijingJiaotongUniversity,Beijing00044，China)
Abstract：Anovelmethodfor errorsofalinear was forward．A
measuringfour-degree-of-freedomgeometric stageput single-mode
lasermodulewas thelaserbeamfromthislasermoduleis Canbeusedasthereferenceline
fiber-coupled used，and highlystable，and
for errorand error acomerretro·reflectorandabeam were inthe
angular splitter
strai曲mess measurements．Only adoptedmoving
inordertosensethe errorsand errors．Inthis horizontalandvertical errorsaswellas
target straightnessangular way,the straightness
same isnocableconnectioninthe
and errorscanbemeasured the time，there
yaw pitch simultaneously．At movingtarget，which
a convenienceinthe measurements．The theabove
givesgreat workshop four-degree-o
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