原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月
. . $$# 2
纳米测量系统的研究现状与展望!
齐永岳 赵美蓉 林玉池
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津
#$$$%’
摘要 本文介绍了纳米测量系统的各个组成部分 即探测系统 位移系统 计量系统 信号处理及控制系统 综述了国内外的研
( ) ) ) (
究状况和相关产品 在此基础上提出了一种集驱动 定位 测量 伺服控制 信号处理等技术于一体的实用型二维纳米测量技术
( ) ) ) ) (
并对其应用前景作了展望*
关键词 纳米测量 纳米技术 干涉仪 纳米驱动
4
+,-.,/ 0123105,3678.19:;6,5
=?@ABCDE FGH@IEJ@AB KA?DLG
( ( ijjjkl( ’
MNONPQPRSOTUVONUVRUWXVPYZ[ZU\]PO[^VP_P\N‘PYa\UbUcRO\de\[NV^_P\N ‘ZO\fZ\g\ZhPV[ZNR ‘ZO\fZ\ maZ\O
no683p qGEL@rs@AEAtu@vAHA@rEHuDJErEAtuCutEr(uDLG HuwEtELtAB uCutEr(wusxHLErEAtuCutEr(
( z z |
rEHuDJAB uCutEr HAw L@AtJ@xuCutEr HJE HAHxCyEw qCsLHxsJ@wDLtu HJE AtJ@wDLEw qGEA H AE{ }
(
!AB
AHA@rEHuDJAB tELGA@x@BC u sJEuEAtEw {GLG AL@Js@JHtEu rHAC ~ABu @v tELGA@x@BC uDLG Hu wJ
( ( z z
s@ut@AAB rEHuDJAB L@AtJ@xxABHAwuBAHxsJ@LEuuAB qGEDuABtJEAwuHJEHxu@B!EA
| | |
,;/08#6 $HA@rEHuDJErAEt $HA@tELGA@x@BC %AtEJvEJ@rEtJE $HA@wJ!AB
机械零件的加工和装配 电子器件的生产制造 扫描探
) )
引 言 针显微镜 的发展
文档评论（0）