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D8A@上的微细塑铸研究
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韩 勇 !彭良强 !陈 迪 !伊福廷 !张菊芳 !黄军容
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中国科学院高能物理研究所!北京 #
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上海交通大学微纳米科学技术研究院!上海 $
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摘要!利用北京同步辐射装置 $上的 技术制作了镍模具!试验了溶液浇铸反应浇铸
d8b] _GC6
大气模压真空模压四种不同的塑铸方法’结果表明采用自制模压装置!采用排气法可以获得与真
空模压相近的效果#真空模压在这四种方法中具有最好的精度!但若不进行工艺参数优化!也会导
致变形等问题’
关键词!_GC6#塑铸#J射线
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $
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