中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱和红外光谱研究.pdfVIP

中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱 及红外光谱研究 张志宏范湘军 郭-际喜盂宪权叶明生付强杨业智+莫少波+ (武汉大学物理系，加速器实验室，武汉，430072) (+武汉大学分析测试中心，武汉，430072) 摘要用中空阴极磁控溅射的方法，我们制务了氪 离化源，图1为改装后的实验装置示意图。 化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明，膜 1 中含有两种相的氯化碳。第一种相对应的结构为 CzN，碳以sp杂化形式和氮原子化舍，而第二种相对 应的结构为pcsNt，碳原子以sp3杂化方式和氮化 合。 关键词}GM中空阴极磁控溅射x射线光电 子能谱红外光谱 1引 言 6-C3N．是才发现不久的新型超硬材料。1990年， A．Y．“u和M．LCohenn3首先理论预言了此种物质 的存在，其弹性模量为4．27Mbar，接近于金剐石的 4．43Mbar，其硬度可能接近于金刚石的硬度。近年 来，各国科学工作者开始了合成此种新物质的实验探 图I 中空阴极磁拉溅射装置溅射枪截面图 索[2叫]，均未发现pc。N．，得到了非晶的氮化碳薄膜。 I．工作气体入口2．石英管3．阳极4．铜 1993年，C．Niu等01用激光蒸发和离子束混合相结环5．环形永磁体6．石墨靶7．衬底8． 加热基片9．循环冷却水10．热电偶 合的方法，制备了纳米晶粒的pCaN·薄膜。在这之 the cathode l Schematic of hollow mag— Fig diagram netron 后，才开始了氮碳化台状态光电子能谱的研究。A． sputteringsystem 1．gasinlet；2．quartz Hoffman等01在原位低能Nt离子注入石墨的光电 target；7． ring；5．ringmagnet{6．graphite 子能谱研究中，发现氮碳问的化合有3种形式，碳氮 substratesholder；9．cool substrates；8．heated 原子问的电荷转移有3种方式。D．Marton等”1研究water}10．thermocouple 了用3种方法得到的氮化碳薄膜的结合能，发现膜中 所用的衬底为抛光的硅片和演化钾晶体。硅片先 经稀氢氟酸腐蚀后，放进丙酮中经超声波清洗后，烘 存在两种相的碳氮物质，其中有一种相可能和} 干放进真空室。演化钾经解理后立即放人真空室。衬 CsN。有关。本研究也试图用中空阴极磁控溅射的方 底温度控制在250C左右。所用的工作气体为氮气或 法制备氮化碳薄膜，但我们得到的薄膜是非晶的光洁 氮气和氩气的混合气体，在5种条件下得到了非常光 的氮化碳薄膜。非晶的氮化碳薄膜具有很好的耐摩擦