酞菁锌薄膜气敏透射光谱的研究.pdfVIP

第15誊第4期 郑州轻工业学院学报(自然科学版) VoI_15No．4 0唪EHENG2}IOUINSTITUTEOFLIGHT 21)00年12月 JOURN^L INDUSTRY(NmtIIral＆jere=)Dec．2000 文l■导#1004—1478(2000)04—0014—03 ·气体传囊■研究· 酞菁锌薄膜气敏透射光谱研究 于继荣， 黄光周，杨英杰 (华南理工大学电子与通信工程系，广东广州 510641) 摘要：研完了用真空升华方法制备的致菁锌(ZnPc)薄膜在不同隶度的酒精和氨气中的透射光 谱以及处理温度对光透射丰的影响．结果发现，ZnPc薄膜对氯不敏感，但甘酒精很敏赢，而且 光透射率随气体难度增加而下降．在天气中退火处理的薄膜，其透射丰随酒精艰度的增加而显 h后、波长为470 著下降，特删是在330℃处理l nm时，在体积分敷为o％～15％的气体中薄 膜逢射率变化的垲对值达30“． 关羹葡：光学薄膜；透射丰；光谱；致菁辞 中圈分类号；TN304．52 文献标识码：A 0引言 有机金属酞菁化台物是备受关注的功能材料之一，其气敏性能已被广泛研究[1“]，退火处理对其性能和 结构的影响也有报道“’5]，其在光学方面的应用也受到重视‘“73．但是，将其气敏性能与其光学性螗相结合进 行研究工作的报道却不曾见到．窳所周知，常规的气敏元件只能在高于室温的条件下使用，但这样会引起已 吸附气体的解吸，影响检测的准确性和灵敏度，且元件的制作工艺也较复杂．而气敏光学型元件只须经某一 特定渡长光的照射，常温下就可以正常工作．因此，把材料的气敏电学性质与其气敏光学性质相结合，可以发 展出一系列新型的敏感元件．由于目前国内外对金属酞菁化台物的气敏光学特性研究的报道极少，笔者在研 究SnO，超鬣粒膜气敏光学特性曲基础上口]，研究了ZnPc薄膜在不同浓度的酒精和氨气中的透射光谱以及 退火处理对其性能的影响．这样可更详细地了解该材料的气体灵敏度和选择性，以确定合理的退火处理条件 及制备簸癌元件的工艺． 1实验 采用高真空饺膜装置，把ZnPc粉体置于特镧的Mo舟上，在(o．9～1．2)X10-2Pa的真空条件下，升华 ZnPc在光学玻璃基片上形成兰色薄膜，在大气环境中热处理1h，退火温度分别为280℃和330℃．用美国 oRIEL公司生产的光膏单色仪系统，分别测量ZnPc膜在不同浓度的酒精和氨气中的透射光强． 2结果和讨论 2．1实验堵暴 光通过介质膜的透射率可表示为丁=h／Io，式中J。为光源光强，厶为光通过介质膜或者通过气敛胰后 的光强．因此，测量出h和b之后，通过计算机处理，可得到在不同浓度的气体中ZnPc薄膜的透射光谱．气 体浓度用体积分数表示，分别为o％，5％，lO％和15％．图1，图2和图3分别给出不同温度处理过的戢菁锌 收藕日囊：2000～07—10 基盘硬茸；置末鼻持科学基仝贵对疆曰 作者■介：于t策(1945--)，★．河南省用口市^，华南蔓工太学劓越授，主要从事薄庭技术与传盛暑研兜 第‘期 干蛙荣．辱：t菁讳茸膜气教遣射光谱研充 ·15· 薄膜在薯精气体中的透射光谱曲线 披长,Vma 墟长】．1rlm 目1室温处理的ZnPc薄膜 图2 280℃处理的znPc薄膜 在酒精中的透射光谱 在酒精中的透射先讲 t长ⅣnⅢ 蕞长^，nm 图3330℃处理的ZnPc薄膜 囤4 330℃处理的ZnPc薄膜 在酒精中的透射先讲 在氨气中