双辉离子渗金属技术物理机制地研究.pdfVIP

双辉离子渗金属技术物理机制的研究 李家全尚振魁余萍耿漫 核工业西南物理研究院 摘要：对双辉离子渗金属技术的物理机制进行了初步的探讨，研究表明：双辉光交链增强型 放电构成了该项技术的物理基础，而双辉等离子体交叉相互作用可能是这种增强型放 电的微观动力学模型。 关键词：辉光放电、等离子体、渗金属 t 一 一、目的：通过本项工作寻求在双辉离子渗金属技术中引起渗金属工艺不稳定性，放电不均匀 性的原因，找出影响产品合格率的症结。 二、863一核基金衔接课题1995年1月～1996年12月 三、双辉离子渗金属技术的基本原理”’ 如图1 P：loPa～lOOPad^B=1．8～2．5cm． 1．源极：通过直流辉光溅射向阴极提供渗金 属加工所需要的元素，V．=800～1000V 丐f1300℃，为W、Mo或Ni，Cr粉 未冶金靶。 2阴极：工件经直流辉光放电温升至1050℃， 在离子束轰击辅助增强下，使沉积在其 表面的源极元素通过热扩散进入阴极 !囊空壁1糟硅守 工件表层内达200¨xn．妣OOV～600V 3．阳极：由热屏和水冷真空室壁构成。 图1职辉离子渗金属原理图 四，物理分析‘’) 厂+源极靶材有很高的溅射率—广+源极电压较高 L+源极材料软化温度高 该l ● 技l 源极材料成分在阴极——+阴、源极间距离尽可能小 术r表面有较高的沉积率 工l 业l 阴极工件有足够高自铲-接近碳钢软化温度—，阴极电压高 化l 温度产生热扩散 1100℃ 实f 施r+能抑制逆向冶金]广_+源极电压高于阴极电压 血卜+能抑制混治 一。—+源极软化温度高于阴极软化温度 求l L+高生产率一异常辉光放电—厂_+高电压 “气压 2．为满足上述物理条件，则工程上要求 A．双网络场工作在异常辉光放电区 B．源极网络电压高于阴极网络电压 ．J20L 圈2双辉离子渗金属加工炉电极空间布局圈 由于在同～真空室内，双网络耦合紧密，并蝴处于强放电状态，这将诱发一种特殊的放电现 象——双辉光交链增强型放电。 ， 3．双辉光交链增强型放电： 31现象描述(详见参考1) - A．辉光：当源极电压升至v-不变时，在交链前，源极辉光如图3曲线1所示，随着阴极 电压vb的递增，阴极辉光如图3曲线2向左扩张至曲线3，并与源极辉光部分交 迭。当源、阴辉光交迭到一定程度时，将突然出现辉光共溶、亮度大增的现象。 B．伏安曲线：如图4-在双辉光交链前，源极电流L不受阴极电压vb递增的影响。阴极电 流Ib随Vb的变化符合异常辉光放电规律。当Vb增至Vb0，发生辉光交链时，I． 与Ib均有一阶跃增加，当vb大于Vbo后，随Vb的增加，I．与Ib均大辐度上升。 3．2双辉光交链增强型放电的特点 A．发生交链时，双网络放电电流阶跃式大辐上升。 B．交链后，随vb的增加．dl／dv急剧增加，比交链前大。随Vb增加而增加。