用表面粗糙度多刻线标准样板S-%2cm-值检测高倍光学测量显微镜方法地研究.pdfVIP

用表面粗糙度多刻线标准样板S。值 检测高倍光学测量显微镜新方法的研究 王心航张恒马艺清刘佳丽 (天津市计量技术研究所天津300192) ■l：目前放大倍率为400倍以上的光学显鬣镰敬有相应的国家基标准可对其进行柱 舅。作者通过对国家标准一表面粗艟度多捌线标准样板sm值的定度和对400倍曼傲麓的 柱嗣进行实验和研究，■头了无标可传和一标两用的同曩．提供出一种量传俺单、准确可靠 }h■■●P； 的新方珐。 关■谭：惹勰标准样板sl值量传毫倍显徽羹 ■ 《 、 l 问题的提出 隧着国家经济的发展和工业技术水平的提寰，放大倍率为400x以上的光学测量昼截麓(以下 简称曼截奠)使用越来越广泛，诸如半导体翻造业、电子印刷线路板制造业、纸镧品行监都用其来 滔量产品参数的截小尺寸，如间距、厚度、直径等等。既有测量旧有仪器准确度问题，低倍事光学 曼童话以及读效显截镜可用玻璃标准毫米刻度尺的传统方法检测其放大倍数和示值误差，400x 以上的显鬣镜由于倍率大、视场小，这种传统方法就不适用了。有的用光切显徽镜附件一0．0l毫 米玻璃刻度尺检测。作者认为不妥：一是它不是国家规定的基、标准器，投有量传依据；二是该尺刻 度间砸很不均匀，线纹质量也较差，所以，《光切显擞慵检定规程中规定其使用时要分段嗣量取平 均值作为测量结果；三是对其定度的仪器精度较低，达3／an．如线纹比较仪。练上所述，除了低倍 率的曼，t镜有一本(读数显徽镜)检定规程可根据其检定外，目前400X以上高倍率显般幢至今也 投有国家检定规程和检定基标准。有鉴于此，作者尝试了本文题目所规定的新方法的研究，意在用 多劐线标准样板的峰答间距参数值作捌度尺标准。 2标准样板s。值的定义及其标定 表面粗糖度多捌线标准样板是用光刺工艺方 法制造的铬值样板．表面条纹规则，反光率很商， (形状如圈1)这都是检测显徽镜的必备条件。根 据国家标准GBl031—83中的规定，表面粗糙度的 参数共有六个，分别是高度参数RI、K、H，问距参 数s、s．和综合参数t．。任意一个表面纹理结构都 可给出这些参数，下面只介绍和本文有关SI、凡 两个参数的定义及sI值的标定。 2．1 s-和K两个◆数的定义 圈l 一2ll一 sI参数的名称为轮廓微观不平度的平均间距，它的定义为：在取样长度内轮廓般观不平度的 间距平均值。其表达式为： ● ● sI={∑钆 式中‰——单个间距在中线上的长度。 (i_1…23……、n) n一取平均间距所用的单个间距的个数 教观不平度的间距是指：含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷一段中线长度。根据这个定义，对于 多刻线标准样板来说恰好是轮廓为中线所截，在中线上峰加谷的周期长度如图2。 r、，。，：^、；《；f；i；