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低衝擊振動原級校正系統之雷射干涉技術應用探究
何信佳 陳俊凱 陳朝榮 黄宇中
工業技術研究院量測中心動態工程研究室
因應產業技術提升與提高生產品質,雷射干涉技術於業界的應用與日俱增;國家度量衡標
準實驗室(NML)擬建置可追朔至SI單位物理量的原級衝擊校正系統,以降低量測系統的不確定
度與提升計量技術精度。本研究依據ISO16063-13所規範之衝擊振動原級校正系統建置方法,
首先建構以氣壓作為動力源之衝擊產生機構,並根據正弦波近似法建立改良式麥克森干涉模
組,且依照ISO的訊號處理方式獲得加速度。實驗結果顯示,兩個相位差90度的干涉訊號,
在衝擊未發生前訊號穩定,在衝擊機構已啟動但衝擊訊號未發生前,兩干涉訊號已經顯示出經
隔振桌傳遞過來的干擾,而在衝擊發生的時間内,鐵鉆反射面因為衝擊行程有扭曲,對於兩個
干涉訊號的強弱造成影響,導致加速度值計算偏差。未來將持續探究及改善鐵鉆反射面的表面
粗糙及鐵鉆受衝擊時的扭擺行為,以降低由雷射干涉儀所導出的量測誤差。
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低衝擊振動原級校正系統之雷射干涉技術應用探究
作者: 何信佳, 陳俊凱, 陳朝榮, 黄宇中
作者单位: 工業技術研究院量測中心動態工程研究室
引用本文格式:何信佳.陳俊凱.陳朝榮.黄宇中 低衝擊振動原級校正系統之雷射干涉技術應用探究[会议论文] 2009
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