用于无线通信微机械电感研究.pdfVIP

用于无线通信的微机械电感研究 丁勇刘泽文+刘理夭李志坚 清华大学 微电子学研究所北京100084 摘要本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果．在分析了影响 平面螺旋线圈电感值的主要因素，计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的 电感值后，给出了一种新型的微机械平面电感设计方案． 关键词：MEMS．无线通讯、RF、电射 、 一．引言 九十年代起．随着个人移动通讯的发展和其应用领域的扩大，无线通讯的 地位越来越重要．其特点是由过去的大型、高功率、集中化向目前的低能耗、 微型化和分布式转化。这就要求进一步提高通讯系统的集成度。随着硅技术的 发展，将无源器件和硅Ic器件制作在单一芯片上形成所谓的单芯片系统(SOC) 成为未来发展的重要趋势。MEMS技术为上述器件的微型化和高性能化提供了 新的解决方案，已经成为该技术应用研究的一个新的热点【1】。 电感器是射频技术的重要器件，克服传统Ic工艺的限制．利用微机械工艺 制作高Q值的片上电感，具有十分重要的意义，受到普遍重视[2．3，4】。 建立合适的计算模型进行较为精确的电感值计算以及获得高值电感器是平 面电感研究中的重要课题。较为著名的的电感计算方法为七十年代Greenhouse 提出公式[5]。但该公式涉及复杂的数值积分。运用起来十分不便。而其他简 化模型，可能导致计算精度的下降。在下文中，我们在大量数值运算的基础上， 通过曲线拟合给出了一个较为简单的计算模型。 根据平面电感的物理模型，影响Q值的主要因素是电感和衬底之问的寄生 电容和电阻以及电感器本身的电阻值。为了提高屯感的口值，目前典型的MEMs 电感器主要采用下列形式：其一是悬浮结构【2】。其二是加厚绝缘介质层结构 [3】。此外采用接地屏蔽结构[4]．必须注意到，平面电感研究不但要尽可能获 得大的口值，而且，还需考虑工艺的简单性、可靠性以及与MOS工艺的兼容性 等问题，为此我们设计了一种新型的电感结构． 二．电感的计算与模拟 平面螺旋结构电感的电感量主要由线圈的几何参数决定，根据Greenhouse 平面螺旋电感的公式[5】。可将矩形平面螺旋线圈按边划分为若干段直导线， ’通讯作者 线圈的电感是各段导线自感和每两段导线之间的互感之和。其中，各段导线的 自感为： L=O．002+I+[In(2’VGMD)·1．25+AMD／I+(，“)T】(I) 式中，l是该段导线的长度(cln)，GMD和AMD分别是此导线的几何平均 。 距离和算术平均距离，u是磁介质的相对磁导率，T是一个与频率有关的参数， 很接近1。两段导线的互感由二者间距、电流流向、导线的6MD和AMD等决 定。 电感C埔) s。 在影响平面螺旋电感的几何参数中， 如 导线的横截面尺寸和导线间距在很大程度 30 上由工艺决定，在设计时可以选择的余地 ： 不大。因此，首圈面积和线圈的匝数是决 。 定整个线圈电感值的主要几何参数。设导 线的横截面尺寸为iog．m*5pm，两匝线圈的 问距为10Hm。根据公式(I)通过计算机图1电感大小与线圈匝数的关系a由上 至下四条曲线分别代表茸圈面积为 数值计算，可得不同的首圈面积下电感量 045o 300+300、200+200、100+100和5 与线圈匝数之闻的关系(图i)。 · (uⅢ2)的线圈 利用计算机进行晟小二乘法曲线拟台．可以将电感值与线圈匝数的关系表 示成三次多项式函数形式(拟台误差小于0．1