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图1为温度对Ti(CN)膜沉积速率的影响。 图2不同的氢氮比时，Ti(cN)
涂层显微硬度变化去曲线。
图2分别为不同的氢氮比条件下，Ti(cN)涂层的显微硬度变化情况，我们可以看出，
随着氢氮比的增大，膜的硬度逐渐降低并趋于平稳。
3．3温度对膜晶体结构的影响
我们对Ti(CN)膜进行了X衍射分析，发现沉积温度对膜晶体的组成有～定的影响。
温度的升高，有机物等杂质在Ti(CN)的晶体中的溶解在逐渐减小，晶体的结晶趋于完整。
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脚∞i衄岫州．c)Dcp砌ian
图3．Ti(CN)膜d(200)值
随沉积温度的变化曲线。 随沉积温度的变化曲线。
后又逐渐减小，即织构现象随温度逐渐加强然后又逐渐减弱。
757
3．4不同氢氮比对膜晶体结构的影响
情况。我们可以看出，d(200)由H2：N2=i：10时的2124逐渐增大到2．131然后变到H2：
N2=4：1的2．129。
ThenuioofH2 Ra“oofH2toN2
toN2
图5．Ti(CN)膜的d(200)值 图6．Ti(cN)膜的d(200)／d(111)
值随H2，N2比例的变化曲线。 值随H2，N2比例的变化曲线。
H2：N2=4：1的5．n。这说明，随着H2，N2比的增大，织构现象在逐渐加强。
4．结论
沉积温度对Ti(cN)膜的沉积速率、晶体结构有一定的影响，不同氢氮配比对膜的显微硬度
和晶体结构产生一定的影响。
参考文献：
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原位反应法制备金属基高温陶瓷涂层的研究
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0082)
(湖南大学化工学院新材料研究所，长沙，41
摘要： 用原位反应法在普通碳钢上静J备出了均匀陶瓷涤屡。X-射线衍射分析表明，潦
2Si01
屈中含有cP^hohTiO)。Fem和A14Ti2等相。该涂层具有与基体的站合强度高，
耐热、抗氧化、抗热震杜能好等优良性能。
荧健询：原位反应金属基陶瓷涂羼抗氧化性抗热震性
1．前言
在现代陶瓷技术巾，陶瓷涂层的发展特别迅速．它们在酣高温、
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