多层复合薄膜中成分变化能谱研究.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.1千字
约 2页
2017-08-14 发布于安徽
举报
版权申诉

多层复合薄膜中成分变化能谱研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

电子显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soc 17(5)t573～5741998年 573 多层复合薄膜中成分变化的能谱研究闰允杰唐国翌 (清华大学国家教委先进材料开放实验室，北京100084) 郑自攀 (中国科学院电子研究所，北京100080) 某种新型传感器材料采用在si单晶基体上制备多层膜结构，这些膜的成分特性将对传感器件研究多层膜的成分变化特性，目的是为材料设计和工艺优化提供依据。实验过程及结果薄膜厚度。同的加速电压测试多层膜制备过程中元素的分布特征。利用Monte 明C元素主要分布在si。N。的外表层，应属于在薄膜形成后产生的表面污染。因此不应影响传感器的性能。在3．7—5．0kV加速电压范围内，能谱结果显示，随加速电压升高，o元素含量明显增加，当 N元素含量，这可能与电子激发区的体积增加有关。结论 1．利用加速电压的变化和MonteCarlo模拟可以对薄膜样品进行成分的定性分析，如果配合相应的标样，还可定量计算出薄膜的成分和杂质元素的含量。 2．利用低加速电压下x射线的作用体积小的特点，可对小于100nm的粒子进行成分分析，并能获得高空间分辨率的元素分析结果(仅限具有低能x射线的元素)。电子显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soe 574 17(5)l573～5741998年 “|+{‘ 0”≥，。≯0≯、u 1譬瑟图i传感器中多层膜结构示意图图2传感器表面形貌像图3 0．8kV加速电压下电子激发区域轮廓图图4 5kV加速电压下电子激发区域轮廓图图5 0·8kV加速电压下多层胰EDS谱图6 3．6kV加速电压下多层膜EDS谱