X射线探究CeO2缓冲层.pdfVIP

· 芤埘^}；仑f日超婷；诤麒tJ，跹导lLr々：础什‘学术金议比文0． · X射线研究Ce02缓冲层 王荣平周岳亮 潘少华吕惠宾陈正蒙 }-· 100090 q，Iq,f斗学院物理研究所光物理吏啦事．中11,1．?4学院凝聚卷物理-{，心，北上l I、： 摘要： 我仃J台：和和止离j：束辅助两种仙彤r．拄舣轴纸掏NI挂戚J砩0蔷J’Ce02 薄膜，结果表明．无离f束辅助沉积时，渺膜表现出(111)取向．扣：离子能键为240eV， 母 CoO二秘脱‘王现f}j娃女r的-Z方 泉流为2001J．A／cm：，牡片沿度为360℃的条件FiX{．o,f19 织构。另外．我们分析r薄膜应力随温度和离子辅助条件的变化关系，结果表明．离 』，水轰zh町以减小渺膜成D．^‘360r刚近}酬蔓戍办JLr融，j个弛豫。 一、引 言 m 量H0驭向腆，M辨，金磁基底』oYBCO薄膜之州仔住蚋扩敞现豫也产：氍黝蛾曹映的睢能 小金柢‘j YBCO薄膜“…，由此lⅡ她，缓冲联质』l；的好坏将l’￡接影呐YBCO；垮ji}!n0·陀能。 强钓0：，J纵}；；J的Ce02jn蛙{EI岂条{_!l=，粥外．1{jj：人的一九洛导致薄膜晌”裂，影响游 渡狞‘陀能．所以我们世Or3f．j’随沉程{溢嫂技离J：4itiJiD条“变化的一山弛豫， 二．、实验条件 实验龙离r求辅j{}j的脉冲激光0({!}i系统』：进}j，舣轴纵曲的Ni盒槭f1：为基“，丛 ”收入沉年}l室fii，rf]f^jdj，厶薛超卢j，i洗．一束能繁密度约为2Jlcm2的XeCl(308nm)准分 J’激圯入射剑‘个Ce02旋转烧爿i靶f：．靶。j基Ji的距离为45cm．沉年；{速率为0l、ol 5 nmS，收厚为300—400Fim． 强衢j’Ce02薄膜．删备f：10溥摸川x射线女r射仪分#i其；，球4及J电／J弛豫特一睦． ] 1一荣、lc等：x射线研究Ce02缓冲层 三、结果和讨论 a．结构特征 图I给{lj II 以厅f{{，溥膜垡现出很诘{(IJ取向，随荫 1 ：l 温度的升高，(11)峰越来越强，丑．峰宽自 加大的趋势。为了获得(ooll取向的Ce02 缓冲层，我们采用离子束辅助沉积的方 ·{ 法，通过调节离予束束流、能量和基片温 度，希孥能够f}；；助离了束轰击，能改变 c_*e一皇∞h釜la石j岔 Ce02缓冲层的取向，圈2为离子束流为 200 eV时在几个不问