碲锌镉晶体第二相夹杂物特性的研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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碲锌镉晶体第二相夹杂物特性的研究.pdf

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第36卷，增刊红外与激光工程 2007年6月碲锌镉晶体第二相夹杂物特性研究刘从峰，孙士文，方维政，扬建荣，何力 (中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心，上海200083) 摘要：高质量的碲锌镉单晶是制备碲镉汞红外焦平面器件的理想衬底材料，然而目前碲锌镉材料中的第二相夹杂物严重制约着晶体的质量。根据红外透射形貌的描述和表征，碲锌镉晶体的常见夹杂物被分成了五类，并在此基础上讨论了各自的形成机制，A、B和c类夹杂物与化学配比及其变化密切相关，而D和E类夹杂物与滩材料中或者在生长工艺控制过程中氧含量相关。进一步的研究表明大尺寸、高密度的Te夹杂物将会严重降低红外透过率，同时腐蚀坑密集分布在与Cd夹杂对应的六重对称线上，该结果揭示了第二相夹杂物会产生其他缺陷的增殖，但夹杂物引起的应力影响区域是局限的。关键词：第二相夹杂物；碲锌镉；腐蚀坑；碲镉汞红外焦平面中圈分类号：TN304文献标识码：A CharacteristicofinclusionsinCZT study crystal LIU Shi-wen，FANG Li Cong-feng，SUN Wei·zheng，YANGJian-rong，HE (ResearchCenterforAdvatleedMaterials ofSciences，Shanghai200083．CKⅡ劬 Abstract：CdZnTewith are substratematerialsfor crystalshigh HgCdTeⅡU7PA qualityperfect theoccurrenceofthe has theCdZnTe Devices，however secondinclusion phase degraded crystal．Almost ofalltheinclusionswereclassifiedinto5 tothe andelements．andthe morphologies typesaccording formafionsofthemwerealSO thatTeinclusionswitll sizeand discussed．FurtherresuItsshowed big high willdecreasetheIR—transmissiontheetch thesix finesof density rate，while pitsarrayedalong symmetry Cdinclusions．Itcanbeinferredthatelsedefectswereinducedtheinclusionsandwillinfluencethe by farther． epitaxy words：Etch MCrnⅡ甲A Key pit； CdZnl色：Defects； 0引言