低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 ofNovelMicroPiezoelectricCantileverswith Structural Design LowStiffnessand Resonance High Frequency ZHAO Jia—r“。 Gang。CHU Scienceand Precision andPrecision TechnologyofChina，Hefei230027，China Departmentof Machinery Instrumentation，Universityof onthe in data novelmicro Abstract：Based storage，a piezoelectric applicationsultra-high—density is the fabrication ismadeaswell．Afteramoreaccuratecantile— designed，andprobe processarrangement ver ofelasticconstantandresonance areeducedfor modelisfounded，formulas frequency cross-sectioned cantilevers．Calculatedwiththeseformulas，theelasticconstant multi—layeredcomposed 4 and245 stud— andresonance ofthe cantileverareN／m frequencydesigned probe on cantileverstructureis theeffectsofcantilever’S mechanical ying geometricparameters performance，the for data optimizedultra—high—densitystorage． data cantilever；structural Keywords：ultra-high—densitystorage；micropiezoelectric onant frequency EEACC：2575；2860 低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计 赵钢，褚家如’ 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，合肥230027 摘 要：以超高密度信息存储技术为应用背景，设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针，并安排了探针加工工艺 流程．通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型，推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公 式，并算出设计的悬臂梁探针的弹性常数和谐振频率分别为4N／m和245kHz．通过悬臂梁几何参数对力学性能影响的分 析，从力学性能的角度对用于超高密度信息存储的悬臂梁探针进行了几何尺寸的优化． 关键词：超高密度信息存储；微型压电悬臂梁；结构设计；刚度；谐振频率 中图分类号：TN402；0343；0326文献标识码：A 微型压电悬臂梁探针以其优越的自驱动自检测 入和读出的过程中[8—0|．本文将以超高密度信息存 的性能广泛应用于扫描力显微系统[1。3]和原子力显储技术为应用背景，设计低刚度高谐振频率的新型 微系统中[4巧]，既可以作为传感器进行表面形貌和材 压电悬臂梁探针．由于以往压电悬臂梁探针结构相 料属性等诸多领域的测量[61]，又可以作为致动器使对复杂，故其刚度较大，一般大于10N／m[1卜12]，谐 ElectroMechanical 用．在基于微机电系统 Micro 振频率较低，在100 写头探针的要求则是低刚度和高谐振频率，因为低 Systems，MEMS 的超高密度信息存储领域，微型 压电悬臂梁更是将致动和传感的功能发挥于数据写 刚度有利于增加悬臂梁的柔性，减小针尖的磨损程 收稿日期：2006-07一01 基金项目：中国科学技术大学青年基金资助项目 KB0910 作者简介：赵钢 1977一 ，男，在职博士生，研究方向为基于并行压电探针的超高密度信息存储技术、微机电系统器件的加工 与工艺，fvc@ustc．edu．cn 褚家如 t963一 ，男，博士，教授，博士生导师 通讯联系人 ，研究方向为三维微纳米器件的加工，微型传感器、致动 器的集成以及微纳机电系统的封装技术等，jrchu@ustc．edu．cn 第5期 赵钢，褚家如：低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计 1349 度以