沉积在基底上纳米薄膜破坏机理实验研究.pdfVIP

沉积在基底上的纳米薄膜破坏机理的实验研究1) * *2) * * * * 贾海坤，王世斌 ，李林安 ，薛秀丽 ，崔迪强 ，郭振山 天津大学力学系，天津，300072 摘要：本文研究了沉积在有机玻璃基底上的金属脱粘屈曲破坏。对于薄膜在力-热耦合作用下的屈曲问题，在 实验中对试件施加对中轴向压缩载荷与热载荷, 测量了铝薄膜不同压应力下的热疲劳特性。对于薄膜基底结构 在压-压疲劳载荷和本身残余应力的作用下屈曲疲劳扩展问题，对不同膜厚的金属薄膜试件 （铝膜和钛膜）进行 不同频率、不同循环次数的疲劳加载，并利用光学显微镜和 CCD 相机对屈曲的产生以及疲劳扩展的情况进行 观察记录。对于金属薄膜在拉伸状态下的分叉和断裂问题，本文主要研究了沉积在PET 基底上的不同厚度的铝 膜在拉伸载荷下薄膜的破坏过程。在实验中，分别对薄膜厚度为100nm 、150nm 和200nm 三种不同试件进行了 拉伸加载，并研究了薄膜厚度对断裂失效的影响。 关键词：纳米薄膜；屈曲；疲劳；分叉 引 言 [1-2] / 薄膜屈曲根据具体形态可分为：直线型褶皱，圆泡形屈曲和电话线型屈曲 。薄膜基底二元结构 除了受外载荷压应力外，工作的时候还要受到热载荷的影响，温度的变换及器件的反复使用引发了热疲 / 劳问题。所以，对于薄膜基底二元结构在压应力下的热疲劳研究就显得很重要。本实验正是在该考虑的 / - 基础上，选择了针对于薄膜基底二元系统在力 热耦合情况下的力学行为及性能进行实验研究及理论分 析。 在有薄膜结构的MEMS 系统以及大规模集成电路中，存在着因为不断重复出现的载荷而致使薄膜是 结构出现损伤最终受到破坏。目前，针对薄膜结构的疲劳损伤实验研究还比较少，研究者们已经完成了 [3] 0.1% 循环机械载荷作用下的聚合物基底上的薄膜研究 ，研究表明在机械循环载荷作用的情况下，在 和 1% [4] S. Eve 范围内的交变应变将导致典型的破坏情形，如裂纹，表面硬化，和形成金属薄膜的挤压破坏等 。 [5] 引用了一种利用疲劳寿命和破坏形态研究不同材料组合的膜基结构的疲劳行为的方法 ，他引入了一种 Coffin–Manson 关系模型来描述薄膜寿命，其中断裂破坏循环次数是一个关于应变幅值的能量法则关系 Jong Sung Bae [6] 的函数。 的研究开发了一种高周疲劳试验控制系统 ，并通过实验在短时间内初步得到了 一条铝膜的应力寿命曲线。为了研究薄膜结构在重复加载情况下的破坏损伤情况，我们开发设计了一套 针对薄膜试件的疲劳加载装置，开展薄膜结构的交变实验。 1) 自然科学基金 2) E-mail ：shbwang@tju.edu.cn 1 Hill Hutchinson, Dorris 进年来，由于薄膜的广泛应用，许多国外学者都热衷于对薄膜的研究。 、