原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
非晶微晶过渡区域硅薄膜的微区喇曼散射研究.pdf
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
51 8 2002 8 ， ， ，
Vol .51 No . 8 August 2002
（ ）
1000-3290/ 2002/ 51 08 / 1811-05 ACTA PHYSICA SINICA !2002 Chin . Phys . Soc .
═══════════════════════════════════════════════════════════════
非晶 微晶过渡区域硅薄膜的微区喇曼散射研究*
/
） ） ） ） ） ） ） ） ）
1 = 1 2 2 1 1 1 1 1
张世斌 廖显伯 安 龙 杨富华 孔光临 王永谦 徐艳月 陈长勇 刁宏伟
1）（中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心，表面物理国家重点实验室，北京 100083 ）
2 ）（中国科学院半导体所超晶格与微结构国家重点实验室，北京 100083 ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
2001 11 26 2002 1 7
通过改变氢气对硅烷气体的稀释程度，并保持其他的沉积参量不变，用等离子体增强化学气相沉积（ ）
PECVD
方法成功地制备出处于非晶 微晶相变过渡区域的硅薄膜样品 测量了样品的室温光电导和暗电导，样品的光电性
/ .
- 2 6
能优越，在 · 的白光照射下，光电导和暗电导的比值达到 在室温下用微区喇曼谱研究了薄膜的微结
50mW cm 10 .
构特性，用高斯函数对喇曼谱进行了拟合分析 结果表明，在我们的样品制备条件下，当 和 的流量比 较
. H SiH R
2 4
小时，样品表现出典型的非晶硅薄膜的结构特性；随流量比R 的增大，薄膜表现出两相结构，其中的微晶成分随氢
稀释比的增大逐渐增多；用量子尺寸效应估算了两个高氢稀释样品（ ）中微晶粒的平均尺寸大小为 左
文档评论（0）