多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用.pdfVIP

2∞0年lO月·广西·北海 第七届全国固体薄膜学术会议 多晶硅薄膜在微机饿光开关中的应用 张培玉，武国英，李婷，王颖，王玮 微米／纳米加工国家重点实验室，北京大学微电子所，北京100871 L＼， 摘要l擞机械光开关是光通信网实现光纤到户的关键器件J本文讨论了多晶硅薄膜在微 机械光开关中的应用．对两种结构的多晶硅薄膜微镜结构进行了分析。最后，提出了一种 通过微机械表面硅和体硅混合工艺实现的新型微机械光开关，该开关的硅梁和微镜是由多 晶硅薄膜形成的。支撑微镜的硅粱是弹性元件，避免了运动部件间及与其它部分的摩擦和 磨损．大大提高了光开关的使用寿命。 关键词：微扭转镜；微机械光开关；多晶硅薄膜；微光机电系统 1引言 随着世界通信业务的飞速增长，光通信网得到了极大的发展。但是，近年来发展速度已 经放慢，特别是光纤到户。其原因是传统的光纤网络中存在大量的光I电、电／光转换节点 和数字交叉互联电分插复用器j既限制了网络的交换速度．又对不同形式的光信号是不透 明的。光功能器捧的成本高，限制了光传送网黻展。且光／电、电／光器件的微型化也是 很难解决的问题。微机械光学器件可提高光交换速度，而且微机械加工技术可提供高精度 的定位，满足光传送网的需求，能大批量生产．成本低。微机械光开关及其阵列是构建OXC(光 交叉连接装置)的主要部件0而OXC是用户和交换机进行光纤任意交叉连接的装置，是实现 光纤到户的关键装置。所以，近几年有关微机械光开关及其阵列的研究已成为微光器件的 2多晶硅薄嚷在散机械光开关中的应用 在微机械光开关中，多晶硅薄膜常被用作镦镜面的基体，且多晶硅薄膜的表面通常还 晶硅薄膜为基体的微镜在微机械光开关中的应用基率上分为两种形式，一种是移动式多晶 硅薄膜檄镜；另一种是扭转式微镜。图1所示是移动式微镜光开关“】，该结构是通过表面 工艺得到的。它通过SDA(静电抓耙驱动器)使微镜转动90。，使来自输入光纤的光束反射 引人到所希望的输出光纤中．实现NXN的光路转换．开关速度达700微秒。SDA的结构如 图1(b)所示。它是通过静电吸引使移动平台移动，带动连杆一端移动，连杆另一端拉起 微镜．连杆与移动平台和微镜、微镜与村底均以铰链联接。微铰链的形成过程如图2所示。 首先淀积一层PSG和一层多晶硅，接着光刻，淀积第二层PSG；然后刻蚀两层PSG，并淀积 地第二层多晶硅：最后释放牺牲层，形成铰链结构。铰链间隙大于二倍的牺牲屡厚度。图 3ca)所示是扭转式微镜光开关，图3(b)为镦镜的结构01。该开关由垂直的扭转镜和背电极 组成．垂直扭转镜与背电极间的夹角为45。。该开关是通过三层多晶硅表面工艺加工而成。 其工作原理如图4所示。初始位置时，输人光束由45。角放置的微镜反射到光纤B中；当 加上电压后，微镜从光路中移开，输人光束直接传输到光束C中．完成1到2的光路转接。 2000年10月·广西·北海 第七届全国固体薄膜学术会议 图1移动式微机械光开关 由图1可以看出，移动式擞镜组成的光 开关的特点是速度快，加工简单，尺寸小， 操纵电压低；由于微铰链存在间隙，故误 差较大，且光开关的开关过程存在有摩擦． 寿命很低，可靠性差。图3所示的扭转镜 组成的光开关在开关过程中不存在摩擦， 而硅粱的疲劳特性很好，开关次数在104以 上也没出现明显的疲劳现象。但该光开关 一差 存在有铰链联结，误差也较大。 由于硅与硅间的摩擦机理较复杂，影响 因素较多，且有相对运动的表面间摩擦力 图2微铰链的加工过程 大，磨损较严重。目前，摩擦机理尚未研 究透彻，减少磨损的方法效果并不明显的情况下，只有尽量避免摩擦现象、采用弹性结构 或采用使磨损对精度及寿命影响不大的结构。图5是作者提出的一种新型的微机械光开关。 它是通过表面硅和体硅混合工艺加工而成，由微扭转镜和含有通孔的硅衬底组成。在衬底 下面的微扭转镜由横跨在通孔低部的硅扭转梁支撑，并被排列成2X2阵列。村底与徼镜间 有一绝缘层。光纤槽的侧壁具有光纤定位保持结构。当在村底与微镜阃施加偏压时．由于 静电的作用，使微镜绕硅梁旋转90。，与通孔的佣墙接触。此时，镦镜与衬底表面垂直。 由于硅梁与光纤槽的夹角为45