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静电危害及其对策 (1{)0094北京航天医学工程研究所，崭爱四) 摘要：静电是物体问相互摩擦、接触和分高产生的．静电，人们可以利用它．但是， 如果对它缺少足謦的认识和控制，就会引来许多的麻烦．在微电子技术领域，静电放电 (EsD)损伤和电过应力(EO$)问题引发的电子产品的失效已成为一个突出的问题．本文 是在已有研究成果的基础上，结合型号产品联试中发现和暴露出来的问题，进一步研讨静 电放电的控制和防范，努力提高电子产品的可靠性． 关键词：静电放电损伤控制 1引言 静电是常见的一种物理现象．在电子等工业领域，静电的影响和危害已经引起人们的 高度重视．近年来，有关静电放电研究和控制的报道．已经证实电子产品失效的原园之一 是静电放电引起的器件破坏llI．静电破坏的直接损失是增加产品成本．对于大多数被破坏的 割成品在出厂前的检查中，通过环境应力筛选能够将其揭露出来．但在有些情况下，譬如 静电破坏使产品的特性发生劣化，在出厂前的各项性能指标检壹可能都在规格以内，而实 际上产品的寿命却已经大大地塘短了． 所谓静电，是指物体表面因电子过剩或不足引起的带电现象．通常电子数量的过剩或 电子数量的不足决定了物体表面的电荷重．物体表面过剩电子称作带负电，电子不足称作 带正电． 实际上，静电的破坏多数发生在电子产品制造和使用过程当中．因为操作者一般能带 静电达3000V以上．如果上一道工序疏忽或不重视，产品在转入下一道工序时有可能已经 发生静电破坏，这种遭受静电放电损伤的过程是在不知不觉中并且是无意识产生的．因此 静电破坏的过程在不加控制的情况下是难以发现的．但是，对静电放电的研究已经证明， 对作业环境引起的静电破坏是可以事先防止的．例如．产品在作业台上加工制作或进行各 种工序赴理时，应配备有各种控制静电的设备．包括导电性桌垫、导电性手环、导电性地 板和空气离子化装置等；电子产品在出厂或搬运转移，发生在作业台上的移动时．控制静 电的手段是使用导电性包装材料或导电性容器． ·316· 电子产品的防静电破坏对策的基本思想是：防止静电的积累和将已经带上的静电尽快 地释放掉．对于释放静电的方法因带电物体是导体还是绝缘体而不同．对金属容器、导电 性袋、人体等导电性带电体，采用良好接地的办法将静电完全清除掉；而对绝缘性带电物 体，譬如纸架、塑科容器、操作者的衣服等，应采用空气离子化手段将静电释放掉． 电子产品遭受静电破坏的主要原因，是电过应力(EOS)和静电放电(ESD)．EOS 和ESD直接影响到产品的可靠性和可维修性．因此，相应的减少损伤曲途径是：采用保护 线路．使敏感区免受高压冲击，减少生产和使用过程中产生各种可能的高电压；另外就是 进行各种测量和控制，尤其是对ESD非常敏感的器件做适当的测量，并注意从材料到生产 工艺I；c及产品测试整个过程的控制．当元件密度增加时，应当首先考虑器件对电应力的承 受能力以及由于静电放电而引起的器件失效． 2尊电放电精护设计 2．1设计原则 减少静电放电损伤的重要设计愿则是采用ESD有高承受能力的器件．实际ESD防护 设计与研究电应力、热应力、辐照应力对器件的影响相类似，把元件的可靠性或失效率影 响的因素也考虑进去，则电子产品的安全性就会明显上升．ESD防护设计中，我们可以把 各种应力都反映在失效率模型中，而把基本失效率作为功率、电压、温度及其它应力的函 数．由于墨件在工作中受到的ESD电压是一个电应力，这样就把这个应力和器件所能耐受 的ESD相}匕较，从而得出ESD应力比例系数，这个比例系数就可以作为修改器件基本失效 卓的因素，同时仪器设备的ESD防护应以器件在组装、测试和使用时ESD级别为参照． DoD-STD-1686v1中提出了将器件按对静电放电的灵敏废分类，分类级剧列于表1所示． 表1 等电放电是擞度分类 教捌 骨电敢电承赏既力【kV) l O。1 J一4 表1所示的静电放电承受能力与元件的耐压范围是一一对应的．元件的耐压范围表明 同一类元件，其耐受电压不尽相同，高低压差距很大，例如最撅型晶体管最低对压在380V， 而最高可达7000