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纳米电子学的物理基础 王占和 林鸿溢 (北京理工大学电子工程系北京 100081) 蔫要：本文用经典物理与介观物理的方法，阐明了纳米电子学的主要概念与物理基础，讨论了纳米电 子学中的长度概念、电导涨落、库仑蛆塞及单电子现象。分析了纳米电子器件的输运机制，并对国内外 与纳米电子学相关的单电子器件研究进展作了综述。 关健诃：纳米电子学，介观物理学，纳米单电子器件 技术可能成为21世纪微电子技术发展的一个方面．是一项开发物质的潜在信息和结构潜力的重大工程， 它将使单位体积物质储存和处理信息的能力实现新的E跃，导致信息科学领域及整个科学技术领域出现 重大突破。 纳米科学的研究起源于对纳米颗粒的研究。纳米颗粒属超微颗粒的范畴，超微颗粒(ultrafine 材料的物理化学性质而言．尺度在l’1000am的颗粒与同种材料的块状相比，显示r显著的变化，所以 又有不少文献把尺度在该范围的颗粒称为超微颗粒[2-41，而把尺度在l’100nm的超微粒称之为纳米颗粒。 纳米颗粒不同于原子分子物理和固体物理所讨论的特性，纳米颗粒和纳米薄膜有许多独特性质，引起各 国科学界的重视。 量子力学在更小的原子尺度，已建立起了一套完备的分析计算方法，但由于其计算量和存储量极大， 很难应用到多电子系统和固态电子学，目前迫切需要发展一种全新的输运模型及相应的模拟方法。近年 devi ces)的研制开发上．与此同 来人们把主要的精力集中在纳米材料和纳米电子器件(nanoeletronic 时也相应发展r介观物理学及输运理论。纳米电子学应是--f]以现代物理学为主导，涉及纳米材料学和 纳米电子器件的综合性交又学科，介观物理学的发展为纳米电子学在理论上奠定了基础。 纳米电子学的发展主要依赖于纳米尺寸显著的物理特性，材料的空间维数与尺寸密切关系。从物理 学角度讲，一种材料结构的维度并不是绝对的。依据所研究的物理问题不同，决定固体物性和特征长度 也不同。半导体中存在着各种特征长度，例如德波罗意波长、磁长度、有效玻尔半径、弹性敦射长度、 非弹性散射长度和相位相干长度等。对于不同的物理问题，尺度一定的系统可以表现出不同的维数属性， 而且通过改变磁场大小、载流子浓度等也可以使系统具有不同维度属性。但是在一般情况下总是不言而 喻地根据系统在空间三个方向上的几何尺寸(特征长度)与德波罗意波长(物理长度)的相对太小来定 义它为三维、二维、一维和零维系统。材料的物理长度与特征长度相当时，表面与界面效应将占优势“1， 将出现与现在所理解的完全不同的新规律和新效应，所以从物理学角度去划分纳米电子学范围更为适 当。我们知道自由粒子的德波罗意波长为 电子器件的物理长度。硅材料器件在线宽低于100hm时出现量子涨落和散热问题NJI起不稳定以及制作 上的困难吲。虽然微电子学的物理极限是否是100nm还未成定论Ⅲ，但随着器件特征尺寸的缩小，将渐 逼近其极限是无可争议的。 按经典电磁场理论或量子力学理论观点，电流密度决定局域速度分布．从与局域相关的平衡态导出。 喝飞谣瓦翻睡臣—了—～ 金届的电导率可表示为 口=fie2 (2) T／m+ 叽．为载流子的有效质量，它包含了周期场的作用。n为电子密度．在二维条件下n=眸／n；k，为费米波 矢， t为平均弛豫时间，它的物理意义是电子处于某动量的本征态的平均寿命。在满足量子效应条件下 t=2Ⅱ一1／k^ (3) l为电子输运平均自由程，计℃入(2)式可得 R．Landauer进一步提出～维体系的电导率与穿透几率之间关系㈣ conductance 这正是没有杂质散射，穿透几率为1的情况。式(5)给出了电导率量子化的特征，它是量子点接触和 单电子器件的基础。 在纳米电子器件运行方面，借助于介观物理学(Mesoscopicphysics)方法发展起来的正统理论