纳米晶BaTiO-%2c3-的制备及对CO-%2c2-传感器气敏的影响.pdfVIP

i 纳米晶BaT 0。的制备及其对Co：传感器 气敏性的影响 徐宝琨朱玉梅齐悦邱法斌吴家琨 吉林大学电子工程系，长春130021 摘要本文利用溶胶一凝胶法制取CO：敏感基体材料纳米晶BaTiO。，然后加入CuO制 成电容式气敏元件．研究了反应物不同Ti／Ba摩尔比、掺入koa和sn0：对材料气敏 性能的影响． 关键诃溶胶一凝胶法 电容式传感器CuO—BaTi醌C吼 前言随着农业、医疗、汽车、环保与生物技术的发展，CO=传感器的需求量越来越 大。近来电容式c凸传感器由于具有自身的优点如结构简单、抗湿性强、002测试浓 度范围大、功耗小等而引起研究者的兴趣“’，日本”’和安徽智能研究所“”…采用 传统的高温固相反应法制取coz敏感基体材料BaTiO，。本文采用sol-gel法制取纳米 晶BaTiOa．因为这种方法工艺简单，反应温度低，制得的材料晶粒小，且掺杂均匀…， 是目前应用比较多的氧化物纳米固体与薄膜材料制各方法。 实验部分 BaTi0。纳米晶的制各与元件的制作 1．钛酸四丁酯为化学纯，醋酸钡、无水乙醇、醋酸均为分析纯。配制钛酸四丁酯一 乙醇溶液置于A杯中，加入适量醋酸为稳定剂：称取醋酸钡置于B杯中，加入适量 去离子水溶解：在不断搅拌下将B杯中溶液迅速倒入A杯中．制得均一、透明溶胶 (pB=4)，然后在室温下经胶凝作用(放置8一12小时)得凝胶，40—500C干燥成凝胶， 研磨，800。。c煅烧l小时得到钛酸钡纳米晶粉体。 2．按摩尔比l：】称取所制得BaTiO。和CuO(不小于99．O％)，加少量水和聚乙烯醇 研蘑．3-4MPa压片，圆片直径为5mm，厚度大约为0．6mm，于马福炉中5000|C烧结5h， 最后涂Ag做电极引线，焊接在带有加热线圈的管座上，用zL一5型LcR智能测试仪 进行气敏性测量。 材料表征与结果讨论 l_图l为反应物Ti／Ba摩尔比分别是l：1．1；1．25的BaTi吼粉末的XRD图。 e值及半高峰宽， 利用x—ray衍射线宽化分析法，测得BaTi凸晶粒的晟强峰的值2 代入Sherrer方程： 0 D=K^／Bcos 式中，D为晶粒尺寸(m)；K为形状因子：^为x—ray波长(M)；B为半高峰宽(弧 度)：e为布拉角(角度)即可算出Ba$iO。晶粒的平均粒径。由圈中可估算出(a)(b)(c) 的平均粒径依次为47am：4113hi：32rim． 2．图2为反应物Ti／Ba摩尔比分别是1；1．1：1．25的BaTi嘎基体材料制作的电 容式c嘎传感器灵敏度‰／C。与加热电流I(InA)的关系曲线，其中‰z和Ci，分别为 ·142· 器件在c0。和空气中的电容．由于反应物中的钛酸四丁四丁酯易水解和挥 (a) (b】 (c) 图1反应物不同T【旧a摩尔比的BaTiO≯RD图 发．按照反应物摩尔比I：I不一定能得到Ti／Ba摩尔比为1：1的BaTiOs．因此我 们考查了以上三组实验。从图中发现．反应物Ti／Ba摩尔比为1．1的灵敏度较高， 1 旨 运 震 加热电流(mA) 图2不同Ti／Ba摩尔