一种基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计.pdfVIP

0一种基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计 徐雪芳1,2 高思田2 卢明臻2 李伟2 施玉书2 1.合肥工业大学，安徽 合肥 2300092.中国计量科学研究院，北京 100013 摘要：论述一种基于光束偏转法新型原子力显微镜测头的设计，在结构上它采用殷钢整体套筒将光学元件和 光电接收装置封装在内部，减少了环境对光路和测头的影响；在光路设计上，通过孔径光阑的激光出射光路与测头 悬臂反射的激光光路重合，且偏振态由(s)偏振方向变为(p)偏振方向，最后出射激光经过透镜焦点形成的光锥被四象 限器探测，整个光路结构紧凑，且光学元件位置相对固定，简化了对光源信号及光斑的调节；在探针固定采用了夹 具夹持的形式，便于探针灵活更换。 关键词：计量学；原子力显微镜；光束偏转法；光电接收器；探针 TB921 A ANewTypeofBeamDeflectionMethodBasedon AtomicForceMicroscopeMeasuringHeadDesign XUXue-fang1,2 GAOSi-tian2 LUMing-zhen2 LIWei2 SHIYu-shu2 1.HeFeiUniversityofTechnology,Hefei,Anhui230009,China 2.NationalInstituteofMetrology,Beijing100013,China Abstract:Anewatomicforcemicroscopemeasuringheaddesignisdescribed.Inthestructureitusesinvarwhole sleevetopackagetheopticalelementandphotoelectricreceivingdeviceininternal,thusreducinginfluenceofthe environmentlightroadandmeasuringhead.Inthelightpathdesign,throughtheaperturestoplaseremergentlightroadand measuringheadcantileverreflectionoflaserlightpathcoincidence,andthepolarizationstateby(s)polarizationdirectioninto (p)polarizationdirection,finallyemergentlaserafterlensfocusformationoflightconeisdetectedbyafourquadrantdetector probe.Thestructureofthelightpathiscompactandopticalelementpositionisrelativelyfixed,whichsimplifiesregulation ofthelightsignalandspot.Thefixedprobeinaformofclampingfixturefacilitatstheflexiblereplacementoftheprobe. Keywords:Metrology;Atomicforcemicroscope;Opticalbeamdeflectionmethod;Photoelectricreceiver;Probe 计 量 学 报 2012年11月 射到光电接受接收器上的总光强的反映。和、差信 2 光束偏转法原子力测头的设计原理 号经过AD转化器后，同时进入DSP。DSP再将和、 和特点 M。)一(H。+MD)]，得到悬臂的偏转信号。除法运算 本课题设计了一种采用光束偏转法检测针尖悬 能进一步减小因激光光功率起伏引起的信号波动， 臂微小偏移的原子力测头。光束偏转法∞’61是目前 提高信号稳定性。通过实验标