柔性聚酰亚胺衬底CIGS电池非传统背电极的探索.pdfVIP

第 13 届中国光伏大会（CPVC13）论文集 柔性聚酰亚胺衬底 CIGS 电池非传统背电极的探索 程 龙，刘 玮，李志国，李祖亮 ，刘一鸣，周志强，何青，孙 云 (天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室，南开大学信息技术科学学院，天津 300071) 摘 要：柔性聚酰亚胺 CIGS 电池以其高质量比功率、抗辐射、适用roll-to-roll 工艺等 优良特性而具有广阔的市场前景。传统的玻璃衬底 CIGS 电池通常用双层Mo 薄膜作为 背电极，然而由于 PI 材料与 Mo 薄膜热膨胀系数的不匹配，导致 PI 衬底上 Mo 薄膜残 余应力过大，致使 Mo 薄膜表面裂痕较多，甚至有明显的脱落现象，为电池后续工艺带 来巨大问题。本文从薄膜应力平衡的角度出发，出一种适用于 PI 衬底的非传统的复 合背电极结构，平衡薄膜间残余应力过大的问题，同时分析该背电极结构的相关特性。 关键词：Cu(In,Ga)Se (CIGS) ；聚酰亚胺；背电极；应力 2 1 引言 本文从平衡薄膜应力的角度出发， CIGS 薄膜太阳能电池具有高转换效 出了一种用超薄Ag 薄膜来平衡PI 衬底与 率、稳定性好和抗辐射能力强等优点，是 Mo 薄膜之间应力的复合背电极结构，研 最具有发展前途的薄膜太阳电池之一。而 究了该背电极的电学、光学的相关特性， 柔性聚酰亚胺（polyimide,简称 PI ）衬底 以及该结构对CIGS 薄膜电池的影响。 CIGS 薄膜电池具有高质量功率比、适合 2 实验 卷对卷规模化生产、单片集成和柔性可折 实验采用直流磁控溅射工艺在 PI 衬 叠等优势，其商业发展前景受到广泛关注 底制备新型背电极，逐步分层溅射各层， [1][2] 。2013 年，瑞士联邦材料科学与技术 背电极结构如图 1 所示，制备过程如下： -3 实验室(EMPA)在 PI 衬底上制备的 CIGS 1）在本底真空为2.0×10 Pa ，工作气压为 薄膜电池效率达到 20.4%[3] ，是 CIGS 薄膜 2Pa ，氩气流量为 21sccm ，恒功率溅射一 电池转换效率的世界纪录。传统的玻璃衬 层超薄 Mo 层；2 ）采用恒流工艺在常温下 底 CIGS 电池通常用双层 Mo 薄膜作为背 溅射 Ag 薄膜，薄膜厚度为 50nm 。3 ）采 [4] 电极 ，而对于柔性 PI 衬底，PI 材料与 用恒流工艺，工作电流为 0.5A，工作气压 Mo 薄膜热膨胀系数的不匹配致使 PI 衬底 为 2.04Pa ，溅射 Mo 薄膜，薄膜厚度为 [5] 上 Mo 薄膜残余应力过大 ，甚至 Mo 薄 0.2um 。4 ）采用恒流工艺，工作电流为 膜有明显的脱落现象，大大增加了后续工 0.7A，工作气压为 0.2Pa，溅射Mo 薄膜， 艺的复杂度，因此研究适合于柔性聚酰亚 薄膜厚度范围为 0.7um-0.9um 。 胺衬底上 CIGS 电池的背电极就具有重大 实验用对比样品，采用传统直流溅射 意义。 工艺在 PI 衬底上溅射双层 Mo 薄膜，背电 132 第 13 届中国光伏大会（CPVC13）论文集 极整体厚度在 1um 左右。 3 结果与讨