表面三维微观形貌检测技术及其发展.pdfVIP

中国机械工程第 10 卷第 12 期 1999 年 12 月 表面三维微观形貌检测技术及其发展 蒋剑峰　何永辉　赵万生 　　　　摘要　从表面特征衡量的角度阐述三维参数评定的客观性及合理性, 强 调三维微观形貌测量的重要性。介绍当前表面三维微观形貌检测的多种测量 方法及其特点, 并阐述该测量技术的发展及趋势, 提出表面形貌检测应从简单 过程检测的角色扩展到完成工艺优化角色的思想。 关键词　表面特征衡量　三维微观形貌测量　参数评定　工艺优化 中国图书资料分类法分类号　T G 84 蒋剑峰　博士研究生 　　表面三维形貌检测是获取零件表面形态特征 判方法的同时, 三维微观形貌检测显得尤其重要, 的一种重要手段, 也是记录、比较和复制物体形态 因为检测的精确程度决定着特征参数评判的可靠 特征的基础, 它在机器视觉、自动加工、工业检测、 程度。 产品质量控制、生物和医学等领域具有重要意义和 2　表面三维微观形貌检测技术 [ 1 ] 广阔的应用前景 。 表面三维形貌检测是一个广义范畴, 其方法非 1　表面特征的衡量 常丰富, 但很难用宏观测量与微观测量对其进行准 在生产实际中, 加工手段及加工工艺的优劣是 确划分。随着测量技术的发展和提高, 宏观与微观 通过检测加工工件表面质量的特征参数来衡量的。 之间的界限也日益模糊, 某些技术完全可以实现从 这些特征参数通过基于轮廓的测试仪器得到单条 纳米级到毫米级的大范围测量。这里所说的微观形 轮廓线, 从而评价形貌特征的变化。表面特征一般 貌检测是指在表面粗糙度及波度范围内的形貌检 分为粗糙度、波度、形状误差和尺寸误差 4 个主要 测。 方面。一般粗糙度的表面波长为 2 m～ 800 m , 表面三维微观形貌检测方法按是否与被测表 幅度为 005 m～ 5 m ; 波度的表面波长为 250 面接触分为接触式和非接触式两类[2, 3 ] 。 m～ 8 mm , 幅度为 1 m～ 20 m 。但它们只是二 2. 1　接触式三维形貌检测技术 维参数, 像上漆性、容油性、耐磨损性这样复杂的表 接触式表面形貌检测技术发展较早, 技术也比 面性能显然无法完全通过得到 1 条简单的二维轮 较单一, 仪器有触针式轮廓仪, 且长期以来局限于 廓线来直观形象地表征, 因为在实际应用中, 工程 二维检测。随着产品表面质量要求的提高和精密超 表面使用的是其某一个区域, 而并不是 1 条轮廓 精密加工技术的发展, 有了对三维形貌检测的需 线。而且具有完全相等的二维表面粗糙度值的表 要, 国内外在该方向上作了大量研究, 通过在传统 面, 其三维形貌可能千变万化。于是人们开始提出 的二维触针式轮廓仪基础上增加一维移动, 从而实 用三维特征参数来评判零件表面性能。遗憾的是, 现了三维测量。 许多三维特征参数并未真实地反映表面三维特征。 国内目前还没有这类成熟的产品, 国际上最为 因为如果 1 个表面有大范围的多种特征类型的话, 著名的是英国R ank T ay lo r H ob son 公司, 他们推 用目前的三维特征参数评判, 则各个特征的贡献会 出过一系列比较成熟的产品, 并在生产实际中获得 了广泛的应用