基于Modelica的超精密隔振系统多领域建模与仿真.pdfVIP

试验研究 现代制造工程(ModemManufacturingEngineering) 2015年第2期 基于 Modelica的超精密隔振系统 多领域建模与仿真 陈改平，李子龙，罗欣，金建新 (华中科技大学数字制造与技术国家重点实验室，武汉430074) 摘要：超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成的复杂机电系统，为实现多领域统一建模仿真，选择Modeliea语言 进行建模。采用模块化建模方法将隔振系统 自顶向下进行分解 ，基于Modelica分别建立各元部件的动力学模型。以此 为基础建立了隔振单元及控制系统的模型，最终组建了系统级多领域仿真模型，实现模型的仿真及结果输出；与实验所 测数据进行比对 ，结果基本一致，验证了模型的准确性及有效性，对于精密隔振系统的动力学性能研究具有非常重要的 意义。 关键词：超精密隔振系统 ；Modelica语言；多领域建模 中图分类号：TP391．9 文献标志码 ：A 文章编号：1671—3l33(2015)02—00l8—07 M ulti·domainmodelingand simulation forultra-precision vibration isolationsystem basedonM odelica ChenGaiping，LiZilong，LuoXin，JinJianxin (StateKeyLaboratoryofDigitalManufacturingEquipmentandTechnology， HuazhongUniversityofScienceTechnoloyg，Wuhan430074，China) Abstract：Ultra—precisionvibrationisolationsystemsarecomplexelectromechanicalsystemscomposedbymachinery，electricand fluid．Inordertoachievemulti—domainunifiedmodelingandsimulation，Modelicaisselectedasthesimulationplaftorm．Themod— elismodulardecomposedtop—down．Themodularmodelingmethodisadoptedtodecomposethevibrationisolationsystem top— downandbuilddynamicmodelsofthecomponents．Basedonthesemodels，dynamicmodelsofisolatorsandthecontrolsystem are built，andmulti—domainsimulationmodelofultra—precisionvibrationisolation system isestablished．Simulationresultsverifythe accuracyandvalidityofthemodellibrary．Theseeffortshavegreatsignificanceforultra—isolationsystem digitalmodeling． Keywords：ultra—precisionvibrationisolationsystem ；Modelica；multi—domainmodeling 系统的动力学仿真模型则可为隔振系统的性能评价 O 引言 和结构优化提供指导 ¨。 超精密加工装备、测量仪器对工作环境的稳定性 超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成 异常敏感 ，通常需要用隔振系统将其与外部环境隔